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激光影像測(cè)量?jī)x氧化鋁氮化鋁陶瓷吸盤(pán)平整面度測(cè)量

來(lái)源:武漢易測(cè)精密儀器設(shè)備有限公司   2024年10月31日 20:41  

氧化鋁氮化鋁靜電陶瓷吸盤(pán)平整面度是該產(chǎn)品在生產(chǎn)加工和出貨檢驗(yàn)中,非常重要的一項(xiàng)指標(biāo)。因?yàn)檫@項(xiàng)參數(shù)是好壞,直接影響晶圓在蝕刻過(guò)程中產(chǎn)品不良率。在半導(dǎo)體加工中,對(duì)硅片的散熱工作相當(dāng)重要,如果無(wú)法保證硅片表面的均溫,則在硅片的加工過(guò)程中將無(wú)法確保加工的均勻性,加工精度也會(huì)受到影響。獲得大范圍的溫度域和充分的吸附力,靜電吸盤(pán)可通過(guò)自由度高的加熱器設(shè)計(jì)可以實(shí)現(xiàn)良好穩(wěn)定性;氮化鋁通過(guò)一體共燒成型,不會(huì)出現(xiàn)因電極的劣化造成歷時(shí)變化,最大限度的保障產(chǎn)品質(zhì)量;

方案選擇:激光影像測(cè)量?jī)x(通過(guò)激光測(cè)量,可以得到平面內(nèi)高點(diǎn)和低點(diǎn)的高度差)

規(guī)格型號(hào)

TOCK-432C

量測(cè)范圍(XYZ)

400X300X200

外觀尺寸

700X900X1650

平臺(tái)、底座材質(zhì)

高精度花崗巖00級(jí)(山東濟(jì)南青)

XY 精度

3+L/200)μm

光柵尺分辨率

XYZ:1μm

鏡頭

4K高清鏡頭

鏡頭倍率

光學(xué)放大倍率:0.7X-4.5X

CCD影像

1/1.8靶面尺寸

200萬(wàn)像素彩色CCD












氧化鋁氮化鋁陶瓷吸盤(pán)平整面度測(cè)量操作步驟:

  1. 選擇點(diǎn)集功能,選擇激光采點(diǎn);找到要求平面度的面,對(duì)焦清晰,在激光采點(diǎn)界面選擇圖像,之后根據(jù)需要在平面上采兩個(gè)點(diǎn),在激光采點(diǎn)界面會(huì)同步顯示采取的兩點(diǎn),選中兩點(diǎn)鼠標(biāo)右鍵選擇組合路徑;

    激光影像測(cè)量?jī)x氧化鋁氮化鋁陶瓷吸盤(pán)平整面度測(cè)量

  2. .選擇組合路徑之后,兩點(diǎn)會(huì)連成直線(xiàn),將測(cè)量方式設(shè)定為掃描,點(diǎn)數(shù)設(shè)置為-1;

    激光影像測(cè)量?jī)x氧化鋁氮化鋁陶瓷吸盤(pán)平整面度測(cè)量

  3. 設(shè)置好之后選中直線(xiàn),鼠標(biāo)右鍵選擇平移,根據(jù)產(chǎn)品大小選擇平移的距離、數(shù)量、方向。點(diǎn)擊完成

    激光影像測(cè)量?jī)x氧化鋁氮化鋁陶瓷吸盤(pán)平整面度測(cè)量

  4. 等待采點(diǎn)完成之后,元素列表區(qū)會(huì)出現(xiàn)一個(gè)點(diǎn)集,左鍵雙擊點(diǎn)集,圖像區(qū)會(huì)顯示剛才采取到的點(diǎn),通過(guò)框選選取這些點(diǎn),然后構(gòu)造平面;

  5. 構(gòu)造平面完成之后,元素列表即會(huì)得到一個(gè)平面,選擇平面,數(shù)據(jù)列表區(qū)即可得到平面度,測(cè)量值即為實(shí)際值

以上操作需要注意:在氧化鋁氮化鋁靜電陶瓷吸盤(pán)的平面上選擇起點(diǎn)與終點(diǎn),在兩點(diǎn)連成的線(xiàn)段內(nèi)通過(guò)激光掃描取點(diǎn),可以通過(guò)平移復(fù)制的方法將這個(gè)路徑覆蓋平面大部分位置,這樣能夠在平面內(nèi)取到足夠多的點(diǎn)形成點(diǎn)集,減小平面度計(jì)算誤差。


武漢易測(cè)儀器激光影像測(cè)量?jī)x:設(shè)備優(yōu)勢(shì)

三軸搖桿控制,自動(dòng)對(duì)焦,編輯程序后一鍵測(cè)量,完成后自動(dòng)輸出測(cè)量報(bào)告。NG位置用紅色顯示。支持?jǐn)?shù)據(jù)上傳MES,自動(dòng)化檢測(cè)站??梢赃x配探針完成簡(jiǎn)易三維測(cè)量,選配激光完成高度,透明物體厚度,以及曲面輪廓測(cè)量。



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