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石墨舟氮氣柜:半導體制造中的關鍵保護設備

來源:合肥沐渥科技有限公司   2024年11月05日 09:34  

石墨舟是由高純度石墨材料制成的,主要用于承載硅片或其他基板材料通過高溫處理過程,是制造半導體器件和太陽能電池片的關鍵設備之一。

石墨舟在空氣中容易與氧氣發(fā)生反應,尤其是在高溫處理后,表面可能更為敏感;石墨舟具有一定的吸附性,潮濕環(huán)境中石墨舟會吸收水分,影響其性能,因此需要存放在干燥的環(huán)境中。石墨舟的存放環(huán)境應保持潔凈,避免灰塵或污染物的積累,也要避免暴露在陽光下,因為紫外線可能會對石墨材料造成損害。

石墨舟的存放條件對其性能和使用壽命至關重要。石墨舟氮氣柜主要應用于半導體、太陽能光伏、LED、電子、化工等行業(yè),特別是在需要保護材料或產品免受潮濕、氧化和污染的環(huán)境中。石墨舟氮氣柜能夠防止石墨舟表面氧化,同時維持特定物理或化學性質的石墨舟的材料特性不被外界環(huán)境破壞,從而保證其在生產過程中的性能和產品質量。

石墨舟氮氣柜5.jpg

石墨舟氮氣柜的主要特點和功能包括:

1)防氧化保護:氮氣柜通過充入氮氣來降低柜內氧氣濃度,防止石墨舟表面氧化,保持其導電性和熱穩(wěn)定性。

2)防潮防濕:氮氣柜可以創(chuàng)造一個干燥的環(huán)境,避免濕氣對石墨舟的影響,從而保護其不被潮濕環(huán)境影響。

3)精確控制氣體環(huán)境:氮氣柜配備精確的氮氣流量控制和監(jiān)測系統(tǒng),可以調節(jié)和監(jiān)控柜內的氮氣濃度、濕度、氧氣含量等參數(shù),確保存儲條件符合要求。

4)高質量密封材料:石墨舟氮氣柜采用高質量的密封材料,提高柜門、接口等部位的密封性,減少氮氣泄漏。

5)耐腐蝕、耐高溫材料制造:通常采用不銹鋼材質,因為不銹鋼具有良好的耐腐蝕性能、強度高、易于清潔和維護,保證柜體在長期氮氣環(huán)境下穩(wěn)定工作。

6)智能化操作:氮氣柜配備了智能化的控制系統(tǒng),用戶可以通過觸摸屏或者電子鍵盤進行操作,提供了包括氮氣濃度調節(jié)、溫濕度監(jiān)測、報警提示等功能。

7)安全保護:氮氣柜具備安全保護功能,有效地防止事故的發(fā)生和物料的泄漏。

石墨舟氮氣柜7.jpg

由于石墨舟易碎,所以在使用石墨舟氮氣柜時,應輕拿輕放,避免摔落和碰撞。石墨舟在存放進氮氣柜之前,要先清潔再烘干,將表面的氧化層和污垢去除。石墨舟氮氣柜的有效運行,為實驗室和生產環(huán)境提供必要的物料保護。

石墨舟氮氣柜的設計和制造遵循嚴格的標準,以確保其在高科技制造業(yè)中的耐用性、清潔度及安全性。這些特點使得石墨舟氮氣柜成為半導體制造中重要的設備,有助于提高生產效率和產品質量。

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