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石墨舟氮?dú)夤瘢喊雽?dǎo)體制造中的關(guān)鍵保護(hù)設(shè)備

來(lái)源:合肥沐渥科技有限公司   2024年11月05日 09:34  

石墨舟是由高純度石墨材料制成的,主要用于承載硅片或其他基板材料通過(guò)高溫處理過(guò)程,是制造半導(dǎo)體器件和太陽(yáng)能電池片的關(guān)鍵設(shè)備之一。

石墨舟在空氣中容易與氧氣發(fā)生反應(yīng),尤其是在高溫處理后,表面可能更為敏感;石墨舟具有一定的吸附性,潮濕環(huán)境中石墨舟會(huì)吸收水分,影響其性能,因此需要存放在干燥的環(huán)境中。石墨舟的存放環(huán)境應(yīng)保持潔凈,避免灰塵或污染物的積累,也要避免暴露在陽(yáng)光下,因?yàn)樽贤饩€(xiàn)可能會(huì)對(duì)石墨材料造成損害。

石墨舟的存放條件對(duì)其性能和使用壽命至關(guān)重要。石墨舟氮?dú)夤裰饕獞?yīng)用于半導(dǎo)體、太陽(yáng)能光伏、LED、電子、化工等行業(yè),特別是在需要保護(hù)材料或產(chǎn)品免受潮濕、氧化和污染的環(huán)境中。石墨舟氮?dú)夤衲軌蚍乐故郾砻嫜趸瑫r(shí)維持特定物理或化學(xué)性質(zhì)的石墨舟的材料特性不被外界環(huán)境破壞,從而保證其在生產(chǎn)過(guò)程中的性能和產(chǎn)品質(zhì)量。

石墨舟氮?dú)夤?.jpg

石墨舟氮?dú)夤竦闹饕攸c(diǎn)和功能包括:

1)防氧化保護(hù):氮?dú)夤裢ㄟ^(guò)充入氮?dú)鈦?lái)降低柜內(nèi)氧氣濃度,防止石墨舟表面氧化,保持其導(dǎo)電性和熱穩(wěn)定性。

2)防潮防濕:氮?dú)夤窨梢詣?chuàng)造一個(gè)干燥的環(huán)境,避免濕氣對(duì)石墨舟的影響,從而保護(hù)其不被潮濕環(huán)境影響。

3)精確控制氣體環(huán)境:氮?dú)夤衽鋫渚_的氮?dú)饬髁靠刂坪捅O(jiān)測(cè)系統(tǒng),可以調(diào)節(jié)和監(jiān)控柜內(nèi)的氮?dú)鉂舛?、濕度、氧氣含量等參?shù),確保存儲(chǔ)條件符合要求。

4)高質(zhì)量密封材料:石墨舟氮?dú)夤癫捎酶哔|(zhì)量的密封材料,提高柜門(mén)、接口等部位的密封性,減少氮?dú)庑孤?/p>

5)耐腐蝕、耐高溫材料制造:通常采用不銹鋼材質(zhì),因?yàn)椴讳P鋼具有良好的耐腐蝕性能、強(qiáng)度高、易于清潔和維護(hù),保證柜體在長(zhǎng)期氮?dú)猸h(huán)境下穩(wěn)定工作。

6)智能化操作:氮?dú)夤衽鋫淞酥悄芑目刂葡到y(tǒng),用戶(hù)可以通過(guò)觸摸屏或者電子鍵盤(pán)進(jìn)行操作,提供了包括氮?dú)鉂舛日{(diào)節(jié)、溫濕度監(jiān)測(cè)、報(bào)警提示等功能。

7)安全保護(hù):氮?dú)夤窬邆浒踩Wo(hù)功能,有效地防止事故的發(fā)生和物料的泄漏。

石墨舟氮?dú)夤?.jpg

由于石墨舟易碎,所以在使用石墨舟氮?dú)夤駮r(shí),應(yīng)輕拿輕放,避免摔落和碰撞。石墨舟在存放進(jìn)氮?dú)夤裰?,要先清潔再烘干,將表面的氧化層和污垢去除。石墨舟氮?dú)夤竦挠行н\(yùn)行,為實(shí)驗(yàn)室和生產(chǎn)環(huán)境提供必要的物料保護(hù)。

石墨舟氮?dú)夤竦脑O(shè)計(jì)和制造遵循嚴(yán)格的標(biāo)準(zhǔn),以確保其在高科技制造業(yè)中的耐用性、清潔度及安全性。這些特點(diǎn)使得石墨舟氮?dú)夤癯蔀榘雽?dǎo)體制造中重要的設(shè)備,有助于提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。

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