SIMCO 5225電腦操控可多根連合的離子棒的資料
Simco-Ion 型號 5225 離子棒,以數(shù)碼電路設計和透過軟件操控,滿足設備內(nèi)的防靜電需求。它提供高離子輸出量,能快速中和晶圓上的靜電,符合 E78 標準上嚴格的要求。棒身以空氣動力學設計和高潔凈度材料制造,使得 5225 離子棒在微型潔凈室內(nèi),全發(fā)揮靜電防控能力,而不干擾室內(nèi)層流氣流。
5225 離子棒能結(jié)合設備系統(tǒng),使用預編軟件或開放的源代碼范例,與設備接口的無縫連接,作出低成本的靜電防控方案,減低維護費用,和有更好的警報功能。系統(tǒng)警報和信息能交替顯示在設備控制器上,另有設備監(jiān)控輸出作其他警報提醒。
Simco-Ion 強大的軟件系統(tǒng)提供全面的離子棒控制,設置包括:工作模式調(diào)整 (脈沖模式,穩(wěn)態(tài)模式,待機),信號同步,電離開關(guān)時間,輸出功率,正負極的警報閾值,每根棒都能獨立設置。精準的警報和維修檢測,也能降低的故障耗時和診斷工作。
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