無掩膜光刻技術(shù)，進展如何？

01 光刻技術(shù)

光刻技術(shù)是一種關(guān)鍵的芯片制造工藝，主要用于在芯片表面上制造微米級別的結(jié)構(gòu)。光刻技術(shù)可以將高精度的芯片圖案轉(zhuǎn)移到光刻膠上，再通過化學(xué)腐蝕等方法進行芯片加工。

引用出處：evgroup.

02 光刻技術(shù)的優(yōu)點

隨著科技發(fā)展和人們對小尺寸、高性能芯片的需求增加，傳統(tǒng)的機械加工方法無法滿足芯片制造的要求。而光刻技術(shù)可以制造出更小、更復(fù)雜的芯片結(jié)構(gòu)，并且具有高精度、高效率的特點。因此，光刻技術(shù)成為了現(xiàn)代芯片制造工藝中重要的一環(huán)。

引用出處：zhihu.

03 有掩膜光刻技術(shù)

光刻技術(shù)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中，用于制造各種類型芯片，例如微處理器、存儲器、CMOS圖像傳感器等等。此外，在MEMS（微電子機械系統(tǒng)）等領(lǐng)域也需要使用光刻技術(shù)。

光刻技術(shù)根據(jù)是否需要使用掩膜版可分為有掩膜光刻和無掩膜光刻兩種。

有掩膜光刻技術(shù)是指利用特定波長的光進行輻照，將掩膜版上的芯片圖案轉(zhuǎn)移到光刻膠上，然后通過刻蝕等方法進行加工。有掩膜光刻技術(shù)具有精度高、可靠性好的優(yōu)點，但需要制備掩膜版，這增加了成本和時間，并且在制造不同型號的芯片時需要更換掩膜版。

04 無掩膜光刻技術(shù)

而無掩膜光刻技術(shù)則不需要制備掩膜版，直接通過計算機控制空間光調(diào)制器或激光直寫等設(shè)備將芯片圖案直接投射到光刻膠上進行加工。這種光刻技術(shù)的優(yōu)點是靈活性高、制作周期短、成本低等。

引用出處：esu3d.

05 無掩膜光刻技術(shù)的進展

基于數(shù)字微鏡器件（DMD）的無掩膜光刻技術(shù)是目前應(yīng)用廣泛的光刻技術(shù)之一。它利用數(shù)字微鏡器件將芯片圖案直接投射到光刻膠上，從而實現(xiàn)高精度的芯片制造。這種技術(shù)能夠快速制造出各種復(fù)雜的芯片結(jié)構(gòu)，并且具有靈活性高、成本低等優(yōu)點。此外，基于DMD的無掩膜光刻技術(shù)還具有可重復(fù)性好、制造周期短等優(yōu)點，在快速迭代和小批量生產(chǎn)方面表現(xiàn)突出，未來有著廣闊的應(yīng)用前景。

引用出處：visitech.

托托科技是一家專注于顯微光學(xué)加工和顯微光學(xué)檢測領(lǐng)域的公司，在基于數(shù)字微鏡器件的無掩膜光刻技術(shù)領(lǐng)域中進行了數(shù)年的深入研究和技術(shù)積累，其研制和生產(chǎn)的無掩膜紫外光刻機一經(jīng)問世，就受到了諸多客戶的青睞，在科研和工業(yè)領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用。例如，在微納加工領(lǐng)域，可以用于制作MEMS器件、微流控芯片、微型傳感器等；在光電子領(lǐng)域，可以用于制作光柵、衍射光學(xué)元件等。

托托科技致力于設(shè)備底層技術(shù)的研究和積累，不斷尋求技術(shù)的突破，努力為客戶帶來更好的設(shè)備和更好的使用體驗，幫助客戶創(chuàng)造更高的價值。