實驗室高純氣體管道工程系統(tǒng)

　　高純氣配管技術是高純氣體供氣系統(tǒng)的重要組成部分，是能否將合符要求的高純氣體送至用氣點仍保持質量合格的關鍵技術；所謂高純氣配管技術包括系統(tǒng)的正確設計、管件及附件的選擇、施工安裝和 試驗測試等內容。

　　常見氣體的種類電子行業(yè)中常見氣體的分類：普通氣體，也稱大宗氣體（Bulk gas ）：氫氣（H2）、氮氣（N2）、氧氣（O2）、氬氣（A2）等。特種氣體（Specialty gas ）主要有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3 POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6……等等特殊氣體的種類一般可分為腐蝕性、毒性、可燃性、助燃性、惰性等，一般常用的半導體氣體分類如下：

　　一)、腐蝕性 / 毒性：HCl 、BF3、 WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、 PH3、Cl2、 BCl3 …等

　　二)、可燃性：H2、 CH4、 SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO…等

　　三)、助燃性：O2、Cl2、N2O、NF3…等

　　四)、惰性：N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He…等 半導體氣體很多是對人體有害。

　　特別是其中有些氣體如SiH4的自燃性，只要一泄漏就會與空氣中的氧氣起劇烈反應，開始燃燒；還有AsH3的劇毒性，任何些微的泄漏都可能造成 人員生命的危害，也就是因為這些顯而易見的危險，所以對于系統(tǒng)設計的要求就特別高。

　　實驗室高純氣體管道工程系統(tǒng)