Alicat層流壓差質(zhì)量流量控制器在新型硅碳負(fù)極流化床的應(yīng)用
負(fù)極材料
負(fù)極材料,作為鋰電池重要組成部分,近年來備受關(guān)注。傳統(tǒng)的石墨負(fù)極憑借其優(yōu)異的材料穩(wěn)定性和低成本,廣泛應(yīng)用于各個(gè)類型的電池模組內(nèi)。但是由于石墨負(fù)極存在能量密度的理論克容上限(372mAh/g),各個(gè)材料研發(fā)單位和機(jī)構(gòu)都在尋找一款高能量密度的新型負(fù)極材料,來代替?zhèn)鹘y(tǒng)石墨負(fù)極。
近年來,硅碳負(fù)極被認(rèn)為是具備可大規(guī)模量產(chǎn)潛力的新型負(fù)極材料。而硅碳負(fù)極的制備,也經(jīng)歷了不同的工程化方向,最后被廣泛認(rèn)可且具備放大量產(chǎn)的方式為CVD工藝。而利用該工藝生產(chǎn)新型硅碳負(fù)極的設(shè)備,則是CVD流化床。在該生產(chǎn)工藝中,需要在多孔碳前驅(qū)體中,利用硅烷(SiH4)沉積硅原子,再利用乙炔(C2H2)等碳源氣體,對中間體進(jìn)行二次包覆,將其制備成新型硅碳負(fù)極材料。
由于該工藝特點(diǎn),過程中的硅烷較容易與氧氣接觸發(fā)生反應(yīng),形成二氧化硅結(jié)晶附著在過程管路內(nèi)壁。也是因?yàn)樵摴に囂攸c(diǎn),對控制氣體的質(zhì)量流量控制器有著巨大挑戰(zhàn)。傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量控制器(包括毛細(xì)管以及直通式),通過氣體熱特性的方式來計(jì)算質(zhì)量流量,當(dāng)溫度傳感器接觸面上附著二氧化硅結(jié)晶后,可能會致使傳感器導(dǎo)熱效率下降,流動氣體單位時(shí)間內(nèi)傳導(dǎo)到傳感器的熱量下降,最后導(dǎo)致測量值小于實(shí)際流通值。當(dāng)測量值小于實(shí)際流通值后,原先設(shè)定的氣體流量(理想測量值)將小于實(shí)際氣體通過量。所以在安裝有熱式流量控制器的流化床上,經(jīng)常在使用一段時(shí)間后,出現(xiàn)尾氣中排放多余硅烷發(fā)生燃燒的現(xiàn)象。
而出現(xiàn)這種現(xiàn)象之后,熱式質(zhì)量流量控制器無法進(jìn)行快速維修,只能設(shè)法更換傳感器或報(bào)廢。若長期使用該原理質(zhì)量流量控制器,則可能出現(xiàn)毛細(xì)管傳感器堵塞等現(xiàn)象,而引起更大的安全事故。
Alicat
Alicat 憑借其層流壓差原理及其優(yōu)異的產(chǎn)品精度,一致性和重復(fù)性。廣泛受到新型硅碳負(fù)極行業(yè)內(nèi)客戶的一致認(rèn)可。Alicat質(zhì)量流量控制器的層流壓差原理通過壓差傳感器(應(yīng)變)獲得氣體在層流狀態(tài)下前后壓力差,再通過絕對壓力傳感器和溫度傳感器進(jìn)行補(bǔ)償?shù)玫綒怏w當(dāng)前的質(zhì)量流量。在測量流量的同時(shí),還能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)控入口端或出口端的氣體壓力和溫度,讓用戶在使用流量控制器的過程中,多維度監(jiān)控整個(gè)反應(yīng)過程。
而傳感器表面二氧化硅結(jié)晶,對應(yīng)變傳感器本身影響微乎其微。也是由于該特點(diǎn),讓Alicat有著更高的控制穩(wěn)定性和對二氧化硅結(jié)晶更高的耐受度。而Alicat的層流壓差傳感器的保養(yǎng)和維護(hù)也異常輕松,僅需將流量控制器拆開,清洗,校準(zhǔn),即可恢復(fù)出廠性能。整個(gè)保養(yǎng)過程僅需一天時(shí)間。
除此之外,針對不同客戶不同的環(huán)評要求,Alicat還可以提供覆蓋0區(qū),1區(qū)和2區(qū)的防爆產(chǎn)品。以適應(yīng)客戶生產(chǎn)要求。
推薦產(chǎn)品
Alicat MCR+VCR閥門
l精度:±(0.8%讀數(shù) + 0.2%滿量程)
可選高精度±(0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程)
l量程范圍:0.5SCCM-10,000SLPM
l控制范圍:1-100%滿量程
l重復(fù)性:±0.2%滿量程
l響應(yīng)時(shí)間:<1ms
l控制響應(yīng)時(shí)間(T63):快至30ms
l預(yù)熱時(shí)間:<1s
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