大理石光學平臺由大理石臺面和光學支撐架兩部分組成。一般的光學支撐架有阻尼支撐架和氣浮支撐架兩種。
精密大理石行業(yè)發(fā)展至今也只有20-30年的時間,90年代我國一些關鍵行業(yè)受到國外限制,當時的中國工業(yè)生產(chǎn)比較落后,很多科技發(fā)展先進國家都在發(fā)展高性能的材料來滿足行業(yè)的需求,但是中國沒有相關技術,所以國家的一部分研究院所和國有企業(yè)等單位開始研制適用性強,性價比高的材質——大理石。中國也作為最早的國家之一,開始使用大理石作為標準件和配件,大理石已經(jīng)成為我國一個傳統(tǒng)行業(yè)發(fā)展至今。
大理石平臺主要由石英或長石等礦物組成,經(jīng)長期天然時效,組織結構均勻,線脹系數(shù)極小,內應力消失,不易變形。大理石平臺具備精度高、硬度高、耐磨性強、不怕酸鹼液物侵蝕、不會生銹、不必涂油、不易粘微塵、維護保養(yǎng)方便簡單、使用壽命長等優(yōu)良性能,通常作為精密測量的基準面,已逐步替代鑄鐵平臺被廣泛使用在工業(yè)與科研等各個領域,如精密微加工、航空航天、晶圓檢測、精密儀器檢測檢測等實驗。也經(jīng)常作為三坐標測量儀,高精度顯微鏡、主動隔振平臺等設備的基座。
了解大理石平臺的基本情況后,將具體給大家介紹大理石光學平臺的隔振原理。
大理石隔振原理主要利用其高密度、低熱膨脹系數(shù)和硬度特性,通過增加阻尼和改變振動傳遞路徑來減少振動的影響。大理石的特性就是大理石是一種密度大、熱膨脹系數(shù)低且硬度高的材料,不易受環(huán)境因素而改變,擁有較好的減振吸振性能。
它通過在設備和地基之間加入大理石平臺,利用其特性減少振動傳遞到設備上。氣浮支撐系統(tǒng)主要運用于超低頻的振動中,它通過使用大理石平臺作為基礎,結合氣浮隔振技術,通過氣體力學原理完成對振動的隔離。所以超低頻隔振的解決方案就是利用空氣彈簧產(chǎn)品,通過提供超低頻的振動隔振,自動重新調平到預設位置,并對支撐負載的變化和重心移動做出快速反應。
綜上所述,大理石隔振原理在精密測量和設備保護中發(fā)揮著重要作用。其物理特性使其成為減少振動影響的理想選擇。
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