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勻膠機是一種在高速旋轉(zhuǎn)的基片上滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設(shè)備，主要應(yīng)用于微機電系統(tǒng)的微加工、生物、材料、半導(dǎo)體、制版、新能源、薄膜、光學(xué)及表面涂覆等領(lǐng)域，或用于樣件較小無法使用提拉涂膜或刮膜的方式進行涂膜的基片的涂膜。
勻膠機主要具有以下特點？
1、旋轉(zhuǎn)速度：轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉(zhuǎn)速和電機的實際轉(zhuǎn)速誤差很大，對于要求精密涂覆的實驗人員來說，可能無法獲得準確的實驗數(shù)據(jù)。
2、真空吸附系統(tǒng)：真空泵一般采用無油泵，即干泵，因為任何油污都可能堵塞真空管道。如果真空吸附力降低，會導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況，還會讓滴的膠液不慎進入真空管道系統(tǒng)造成堵塞。有的勻膠機通過聯(lián)動機制，在真空吸附力不夠時不會開始旋轉(zhuǎn)，可有效避免滴的膠液不慎進入真空管道系統(tǒng)。
3、材質(zhì)選擇：對于半導(dǎo)體化工行業(yè)的應(yīng)用來說，材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵。大部分勻膠機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì)，但這種材質(zhì)的成本較低，其中不銹鋼對于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好，塑料則在較高溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。變形如果引起托盤的位置失去水平，將會導(dǎo)致旋涂時產(chǎn)生時高時低的顛簸狀態(tài)，無法得到好的旋涂效果。因此，有的勻膠機會采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(特氟隆，PTFE)等材質(zhì)。
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