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掃描電鏡等離子清洗機(jī)是一款專為掃描電子顯微鏡（SEM）樣品準(zhǔn)備而設(shè)計的高效清洗設(shè)備。該機(jī)利用等離子體技術(shù)，通過活性氣體的激發(fā)，去除樣品表面的有機(jī)污染物和微塵，確保樣品在顯微觀察中的清潔和高質(zhì)量成像。
掃描電鏡等離子清洗機(jī)的工作原理主要基于等離子體的化學(xué)反應(yīng)和物理作用。通過高頻電磁場激發(fā)工作氣體，使氣體分子電離并產(chǎn)生高能等離子體。這些等離子體在電場作用下獲得足夠的能量，與周圍的氣體分子發(fā)生碰撞，進(jìn)一步產(chǎn)生更多的高能活性粒子。這些高能粒子與待處理材料表面進(jìn)行碰撞，將表面附著的污染物撞擊并脫離表面，從而達(dá)到表面清潔的目的。同時，等離子體中的活性粒子與材料表面還可能發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成揮發(fā)性物質(zhì)，將污染物轉(zhuǎn)化為易于去除的形式，進(jìn)一步凈化表面。
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