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粉末原子層沉積(PALD)系統(tǒng)是一種表面改性技術(shù)

來源:復(fù)納科學(xué)儀器(上海)有限公司   2024年12月09日 15:39  
  ‌粉末原子層沉積系統(tǒng)(PALD)主要用于在高比表面積的粉末顆粒表面構(gòu)筑*薄的納米涂層或活性組分‌。這種技術(shù)可以明顯提升粉末的物理化學(xué)性能,廣泛應(yīng)用于催化、新能源、粉末冶金等領(lǐng)域‌。
 
  粉末原子層沉積技術(shù)基于自限制性的化學(xué)半反應(yīng),通過將目標(biāo)反應(yīng)拆解為若干個半反應(yīng),實現(xiàn)表面涂層的原子層級厚度控制。在沉積過程中,前驅(qū)體被交替地引入反應(yīng)室,并在粉末表面發(fā)生化學(xué)吸附和反應(yīng),形成單原子層的沉積膜。通過重復(fù)這一過程,可以制備出具有所需厚度和組成的涂層。
 
  工作原理
 
  粉末原子層沉積(PALD)技術(shù)是一種自限制性的化學(xué)氣相沉積手段,通過將目標(biāo)反應(yīng)拆解為若干個半反應(yīng),實現(xiàn)表面涂層的原子層級厚度控制。利用該技術(shù)制備的涂層具有共形、無針孔、均勻的特點,尤其適用于復(fù)雜表面界面和高縱深比樣品的沉積‌。
 
  應(yīng)用領(lǐng)域
 
  ‌催化‌:通過在催化劑表面包覆納米涂層,提高催化劑的活性和選擇性。
 
  ‌新能源‌:用于鋰電材料表面包覆,提升電池的性能和安全性。
 
  ‌粉末冶金‌:對金屬粉末進行表面處理,改善其物理化學(xué)性能。
 
  隨著科技的不斷發(fā)展,粉末原子層沉積技術(shù)也在不斷進步和完善。未來,PALD技術(shù)有望在更多領(lǐng)域得到應(yīng)用,并推動相關(guān)產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新和發(fā)展。同時,隨著人們對材料性能要求的不斷提高,對PALD技術(shù)的精度、效率和環(huán)保性等方面的要求也將越來越高。
 
  綜上所述,粉末原子層沉積系統(tǒng)是一種具有高精度、多樣性和高通量等特點的表面改性技術(shù)。它在多個領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景,并有望在未來推動相關(guān)產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新和發(fā)展。

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