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晶圓拋光晶片拋光過程中旋轉工作臺的平面度檢測設備推薦
在半導體制造設備的晶片拋光過程中，需要保持裝有晶片的上板和鋪有拋光布的旋轉工作臺（下板）的平面度。如果出現(xiàn)問題，晶圓就會厚度不均勻，不平整，無法進行均勻的拋光。此外，曝光期間圖像也會失焦。
晶圓的平整度對于后續(xù)的曝光工藝至關重要，因此在拋光過程中必須保持平整。
我們的數(shù)字水準儀用于保證上下平臺的平整度。
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這款 2 軸數(shù)字水平儀（有線）是一款高精度且輕便的水平儀。與普通水平儀相比，它可以數(shù)字化顯示，使現(xiàn)場調整更加容易。此外，由于顯示器和水平儀通過電線連接，因此可以從遠處進行測量。由于它重量輕，因此還可以測量精細區(qū)域，例如處理晶圓的區(qū)域。監(jiān)視器屏幕上將顯示氣泡，您可以像查看氣泡水平儀一樣進行調整。由于它是數(shù)字顯示的，操作員之間的讀數(shù)沒有變化。
特征
01水平X軸和Y軸的角度精度為±0.001deg（17.5μ/m）。
02在垂直距離較窄的地方進行水平觀察也可以！
在垂直距離較窄的地方進行水平觀察也可以！
03即時數(shù)字測量判斷使標準化工人標準成為可能。
042軸同時調整可減少調整工作時間。
05通過設定可接受的角度范圍，即使是初學者也可以輕松調節(jié)水平！ ！
監(jiān)控詳情
規(guī)格
| 物品 | 內容 | |
|---|---|---|
| 傳感器部分 | 線性角 | X方向±0.3度 Y方向±0.3度 |
| 測量分辨率 | 0.0002度 | |
| 零點重復性 | ±0.001度或更小 | |
| 響應速度 | 50 毫秒或更短 | |
| 工作溫度 | -10℃～＋50℃ | |
| 主體 | 微電腦 | 32位 |
| 模數(shù)部分 | 14位 | |
| 測量范圍 | ±0.3度 | |
| A/D分辨率 | 0.000025度 | |
| 顯示單元 | 0.0001度 | |
| 通過范圍設定范圍 | 0.0001度 | |
| 量程切換 | 0.01/ 0.001/ 0.0001 | |
| 超過顯示 | 0.3度以上 | |
| 功能 | 傳感器連接數(shù) | 1通道 |
| 顯示部分 | 4.3英寸彩色液晶觸摸屏 | |
| 480×272點 | ||
| 電源 | 專用AC適配器DC6V/2A | |
| 4 節(jié) AA 電池（1.5V） | ||
| 外形尺寸 | 監(jiān)視器 | 寬96×深36×高145毫米 |
| 傳感器（SUS底座） | φ50×H19毫米 | |
| 電纜 | 2米 | |
| 重量 | 監(jiān)視器 | 392克 |
| 傳感器 | 70克 | |
| 配件 | 4 節(jié) AAA 電池（1.5V） | |
| 專用AC適配器DC6V/2A | ||
| 操作說明 | ||
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