FLTZ-808 Chiller制冷系統(tǒng)在半導(dǎo)體生產(chǎn)中的應(yīng)用場(chǎng)景
1、高溫發(fā)生器制冷劑蒸汽溫度達(dá)到多少,執(zhí)行稀釋,為什么?
高發(fā)冷劑蒸汽達(dá)到100度時(shí),機(jī)組執(zhí)行稀釋循環(huán),為防止低發(fā)的中間溶液過(guò)度濃縮引發(fā)濃溶液換熱后結(jié)晶。
變頻是通過(guò)檢查高發(fā)溶液溫度來(lái)控制的,高發(fā)溫度達(dá)到150時(shí)變頻為zui大,當(dāng)溫度130時(shí)變頻zui小。工頻是通過(guò)高發(fā)液位來(lái)控制的,高位時(shí)溶液泵停,中間液位時(shí)啟。
3、U形管如何理解、作用是什么?為何監(jiān)視這個(gè)溫度?
U形管起到水封的作用,用來(lái)保持冷凝器與蒸發(fā)器的壓差。監(jiān)視這個(gè)溫度可以通過(guò)對(duì)照它和冷卻水出口溫度的溫差來(lái)判斷冷卻水換熱管束是否嚴(yán)重結(jié)垢。如果溫差超過(guò)3°C,則表明在冷卻水環(huán)路管道內(nèi)有結(jié)垢。該溫度不應(yīng)過(guò)高,過(guò)高機(jī)組制冷效果降低。
氣鎮(zhèn)閥是放入空氣進(jìn)入壓縮室,降低壓縮比,防止水蒸氣凝結(jié)成水與油混合,而不能排除機(jī)外和引發(fā)油乳化。
冷劑水再生的作用是提高冷劑水的純度,提高冷劑水的汽化效果,如果不再生會(huì)大大降低機(jī)組的制冷效果。
會(huì)發(fā)生結(jié)冰,在冷凍水循環(huán)流量過(guò)低或機(jī)組冷媒水出口溫度設(shè)定過(guò)低時(shí)會(huì)導(dǎo)致結(jié)凍。冷卻水系統(tǒng)須在機(jī)組停機(jī)一分鐘內(nèi)停止工作的道理?
負(fù)載變化
PID值設(shè)定有誤
在低負(fù)荷下由于制冷劑較少導(dǎo)致制冷劑泵頻繁啟停
8、熔晶操作如何進(jìn)行?
冷卻水循環(huán)機(jī)出現(xiàn)結(jié)晶時(shí)
(2)關(guān)閉冷卻塔風(fēng)機(jī),使稀溶液溫度升高,一般控制55℃左右,但不要超過(guò)70℃。
(3)全開(kāi)制冷劑電磁再生閥,并連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。在這段時(shí)間內(nèi),制冷劑被迫走旁路流向溶液一側(cè)。經(jīng)上述運(yùn)轉(zhuǎn)冷劑被移至溶液一側(cè),冷劑逐漸減少,冷劑泵自動(dòng)停止。待液位達(dá)到高位探棒處時(shí)冷劑泵重新啟動(dòng),在這種啟動(dòng)停止重復(fù)2~3次之前,應(yīng)以這種狀態(tài)持續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn);
(4)如果是輕度結(jié)晶,依據(jù)上述操作,就能接觸結(jié)晶。解除結(jié)晶后,使上述轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān)重行回到原處。
(5)溶液泵不能工作時(shí),結(jié)晶情況越來(lái)越重。此時(shí),應(yīng)關(guān)閉蒸汽調(diào)節(jié)門(mén),切斷冷卻水循環(huán)環(huán)路。用蒸汽加熱溶液泵的泵部分,泵的吸入管及排出管及高、低溫?zé)峤粨Q器。這種情況下,速度與廠家服務(wù)部門(mén)。
9、定期巡檢的內(nèi)容?
蒸汽進(jìn)口溫度、壓力。冷媒水進(jìn)出口溫度及壓差。高發(fā)、高發(fā)蒸汽溫度。冷卻水入口溫度。溶液噴淋溫度波動(dòng)及濃溶液濃度,冷卻水塔水位。各循環(huán)水泵電流及運(yùn)轉(zhuǎn)是否正常。
10. 溴化鋰溶液是如何實(shí)現(xiàn)循環(huán)的?
首先靠溶液泵升壓把吸收器內(nèi)溶液注入高發(fā),然后高發(fā)靠與低發(fā)的壓差把溶液壓入低發(fā),低發(fā)同樣靠自身壓差把溶液壓入吸收器。
11、冷劑水是如何實(shí)現(xiàn)循環(huán)的?
在吸收器內(nèi)被濃溶液吸收,隨后被溶液泵隨同溶液一起送入高發(fā),然后在高發(fā)和低發(fā)被一定溫度的熱源加熱沸騰,然后再冷凝器內(nèi)被冷卻水冷凝后回到蒸發(fā)器,進(jìn)行汽化吸熱然后再被濃溶液吸收進(jìn)行下次吸收、沸騰、冷凝、汽化循環(huán)。
12、機(jī)組為何停機(jī)后為何要執(zhí)行稀釋操作?
把各循環(huán)部件的循環(huán)溶液的濃度全部降低至zui低,防止?jié)馊芤涸谖聪♂屚C(jī)后溫度降至常溫時(shí)出現(xiàn)結(jié)晶故障。
13、為何冷凍水泵沒(méi)有運(yùn)行,不允許啟動(dòng)冷卻水泵?
防止由于冷卻水溫度過(guò)低導(dǎo)致蒸發(fā)器壓力下降,造成蒸發(fā)器內(nèi)冷劑水存水汽化產(chǎn)生制冷效果引發(fā)冷媒水換熱管束出現(xiàn)結(jié)凍。
14、如何在氮?dú)獬渥⒒蚺欧挪僮髦?,防止溶液進(jìn)入真空泵導(dǎo)致失效?
在充氮和排氮時(shí)應(yīng)關(guān)閉抽真空系統(tǒng)的1#隔膜閥和U型真空壓力計(jì)的聯(lián)通門(mén),并嚴(yán)禁運(yùn)行真空泵。
15、如何測(cè)量溶液泵壓力,同時(shí)觀察冷卻水循環(huán)機(jī)的發(fā)生器冷劑蒸汽溫度的意義?
如需觀測(cè)溶液泵壓力需在溶液泵出口處的服務(wù)閥上安裝壓力表。觀察冷劑冷劑冷氣溫度的意義與26題一樣。
16、如何判斷各換熱器損壞?
各換熱器進(jìn)出口溫度無(wú)溫差,或溫度出現(xiàn)不正常表現(xiàn)。
17、機(jī)組安全規(guī)程。
無(wú)
18、機(jī)組服務(wù)密碼
質(zhì)保期過(guò)后告知。
文章由順流冷卻水循環(huán)機(jī)技術(shù)員提供分享
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