芯片封裝中的銅絲鍵合:如何通過(guò)推拉力測(cè)試機(jī)提高可靠性?
最近,小編收到一位半導(dǎo)體客戶的咨詢,想要對(duì)芯片封裝中銅絲鍵合可靠性及失效模式分析,該用什么設(shè)備?隨著半導(dǎo)體技術(shù)的飛速發(fā)展,集成電路封裝的高密度、高強(qiáng)度、低成本要求日益增長(zhǎng)。在這一背景下,銅絲鍵合技術(shù)因其成本效益和優(yōu)異的物理性能,逐漸成為金絲鍵合的有力替代品。銅絲不僅價(jià)格低廉,而且具有更高的機(jī)械強(qiáng)度、更低的電阻率以及更慢的銅鋁金屬間化合物(IMC)生長(zhǎng)速度,這些特性使得銅絲在高密度封裝中展現(xiàn)出獨(dú)te的優(yōu)勢(shì)。
然而,銅絲鍵合技術(shù)在實(shí)際應(yīng)用中也面臨著一系列挑戰(zhàn)。銅絲易氧化、硬度高,這些特性在鍵合過(guò)程中可能導(dǎo)致芯片損傷、氧化層形成等問(wèn)題,影響鍵合的質(zhì)量和可靠性。此外,銅絲在封裝后還可能受到塑封材料中鹵化物的腐蝕,進(jìn)一步增加了失效風(fēng)險(xiǎn)。因此,對(duì)銅絲鍵合的可靠性及失效模式進(jìn)行深入分析顯得尤為重要。
本文科準(zhǔn)測(cè)控小編旨在探討銅絲鍵合在芯片封裝中的應(yīng)用現(xiàn)狀,分析其可靠性和可能的失效模式。我們將從銅絲鍵合的基本工藝出發(fā),探討其在實(shí)際應(yīng)用中的失效機(jī)理,包括外鍵合點(diǎn)氯腐蝕、金屬間化合物氯腐蝕、電偶腐蝕、鍵合彈坑、封裝缺陷等。通過(guò)對(duì)這些失效模式的分析,我們希望能夠?yàn)殂~絲鍵合技術(shù)的改進(jìn)和器件穩(wěn)定性的提升提供科學(xué)依據(jù)。
一、引線鍵合的基本形式
引線鍵合主要分為兩種形式:球形鍵合和楔形鍵合。這兩種技術(shù)都涉及三個(gè)基本步驟:在芯片上形成第一焊點(diǎn)、形成線弧、以及在引線框架或基板上形成第二焊點(diǎn)。它們的主要區(qū)別在于第一焊點(diǎn)的形成方式:球形鍵合在每次焊接開始時(shí)會(huì)形成一個(gè)焊球,然后將其焊接到焊盤上;而楔形鍵合則是直接將引線焊接到芯片焊盤上。
1、球形鍵合
在球形鍵合中,劈刀對(duì)金屬球施加壓力,促使引線金屬與芯片電極金屬發(fā)生塑性變形和原子擴(kuò)散,形成第一焊點(diǎn)。接著,劈刀移動(dòng)到第二焊點(diǎn)位置,通過(guò)楔形鍵合和拉尾線的方式完成第二焊點(diǎn)。劈刀控制尾線長(zhǎng)度,尾端斷裂后,劈刀上升形成新的焊球。球形鍵合工藝靈活,允許360°任意角度的第二焊點(diǎn),如圖1所示。
2、楔形鍵合
楔形鍵合通過(guò)楔形劈刀傳遞熱能、壓力和超聲能量給金屬線,形成焊接。這種焊接過(guò)程中不形成焊球。在劈刀壓力和超聲作用下,金屬線與焊盤金屬接觸形成連接。楔形鍵合是單向焊接工藝,第二焊點(diǎn)需與第一焊點(diǎn)對(duì)齊。旋轉(zhuǎn)式楔形劈刀可適應(yīng)不同角度的焊線。楔形鍵合通常用于室溫下的鋁線超聲波鍵合,成本和溫度較低。由于焊點(diǎn)小,適合微波和大功率器件的封裝。
楔形鍵合是用楔形劈刀將熱、壓力、超聲傳給金屬線,在一定時(shí)間形成焊接,焊接過(guò)程中不出現(xiàn)焊球。在劈刀的壓力和超聲波能量的作用下,金屬線和焊盤金屬的純凈表面接觸并最終形成連接。楔形鍵合是一種單一方向焊接工藝(即第二焊點(diǎn)必須對(duì)準(zhǔn)第一焊點(diǎn)的方向)。傳統(tǒng)的楔形鍵合僅僅能在線的平行方向上形成焊點(diǎn),旋轉(zhuǎn)的楔形劈刀能使楔形鍵合機(jī)適合不同角
度的焊線,在完成引線操作后移動(dòng)到第二焊點(diǎn)之前劈刀旋轉(zhuǎn)到程序規(guī)定的角度。常見(jiàn)楔形鍵合工藝是室溫下的鋁線超聲波鍵合,其成本和鍵合溫度較低。由于楔形鍵合形成的焊點(diǎn)小于
球形鍵合,特別適用于微波器件,尤其是大功率器件的封裝。
二、檢測(cè)原理
在芯片封裝中,使用推拉力測(cè)試機(jī)測(cè)試銅絲鍵合的可靠性,主要是通過(guò)施加拉力來(lái)評(píng)估鍵合點(diǎn)的強(qiáng)度。測(cè)試時(shí),將引線固定并施加垂直拉力,通過(guò)測(cè)量拉力值來(lái)判斷鍵合質(zhì)量,從而分析失效模式。
三、可靠性測(cè)試
1、拉力測(cè)試
破壞性拉線測(cè)試是一種廣泛應(yīng)用于評(píng)估焊點(diǎn)強(qiáng)度的測(cè)試手段。這種方法通過(guò)測(cè)量引線在斷裂時(shí)所承受的拉力值,并分析其斷裂模式,來(lái)評(píng)定焊線的承載能力和焊點(diǎn)的牢固度。第一焊點(diǎn)與第二焊點(diǎn)的拉線測(cè)試值受到測(cè)試中幾何結(jié)構(gòu)配置的影響。如圖2所示,F為拉線的測(cè)試力,F和F,分別為施加在第一焊點(diǎn)和第二焊點(diǎn)上的力。
2、剪切力測(cè)試
剪切測(cè)試是一種用于評(píng)估焊點(diǎn)與焊盤之間粘結(jié)質(zhì)量的方法,它補(bǔ)充了拉力測(cè)試,共同用于評(píng)估球形焊點(diǎn)的結(jié)合強(qiáng)度。在銅絲球焊中,第一焊點(diǎn)在受到剪切力時(shí)可能在不同位置發(fā)生斷裂。銅球焊點(diǎn)在剪切力作用下可能在銅球內(nèi)部、銅鋁連接面、鋁焊盤層、硅鋁界面或硅片內(nèi)部發(fā)生斷裂。具體失效位置主要受鍵合工藝、焊后處理等因素的影響。
銅絲球焊點(diǎn)除了可能在剪切力作用下發(fā)生斷裂外,還可能出現(xiàn)彈坑等較嚴(yán)重的失效形式。在剪切測(cè)試過(guò)程中,剪切工具對(duì)電介質(zhì)層的直接作用以及焊點(diǎn)界面的傳遞作用,使得剪切力直接作用于電介質(zhì)層,可能形成剪切型彈坑。此外,焊點(diǎn)內(nèi)部的殘余應(yīng)力也可能導(dǎo)致一些不可見(jiàn)的內(nèi)部傷害,在剪切測(cè)試時(shí)形成彈坑。這些內(nèi)部傷害可能在鍵合過(guò)程中就已經(jīng)形成,而在剪切測(cè)試時(shí)顯現(xiàn)出來(lái),表現(xiàn)為彈坑等失效模式。
3、常用檢測(cè)設(shè)備
Beta S100 推拉力測(cè)試機(jī)
1)設(shè)備概述
推拉力測(cè)試機(jī)是微電子領(lǐng)域?qū)S玫膭?dòng)態(tài)測(cè)試設(shè)備,主要用于評(píng)估引線鍵合后的焊接強(qiáng)度、焊點(diǎn)與基板的粘接強(qiáng)度,并進(jìn)行失效分析。該設(shè)備能夠執(zhí)行晶片推力測(cè)試、金球推力測(cè)試和金線拉力測(cè)試等多種測(cè)試,配備高速力值采集系統(tǒng)以確保測(cè)試精確性。用戶可根據(jù)測(cè)試需求更換測(cè)試模塊,系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)調(diào)整量程,適應(yīng)不同產(chǎn)品的測(cè)試需求,并設(shè)有獨(dú)立安全高度和速度限制以保護(hù)測(cè)試探頭。推拉力測(cè)試機(jī)以其快速、精確和廣泛的適用性,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路封裝測(cè)試、LED封裝測(cè)試、光電器件封裝測(cè)試、PCBA電子組裝測(cè)試,以及汽車電子、航空航天和軍事等領(lǐng)域,也適用于電子分析和研究單位的失效分析,以及教育機(jī)構(gòu)的教學(xué)和研究活動(dòng)。
2)設(shè)備特點(diǎn)
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