3D顯微鏡/輪廓儀產(chǎn)品介紹

3D成像顯微鏡在形貌量測(cè)功能領(lǐng)域具有突出表現(xiàn)。由于物鏡的小分辨率和長(zhǎng)焦深，樣品不能由單次拍照獲得。為了能夠觀察到長(zhǎng)焦深范圍內(nèi)小尺寸特征和結(jié)構(gòu)，托托科技采用景深融合技術(shù)，一次性觀察不同焦深的高分辨率圖像，保證了樣品形貌量測(cè)準(zhǔn)度和一致性。同時(shí)，該系統(tǒng)還集成了景深延拓功能，景深延拓通過(guò)分析不同焦點(diǎn)高度處的對(duì)比度變化，實(shí)現(xiàn)對(duì)物體的三維表面測(cè)量和特征描述，能夠詳細(xì)檢查物體表面，并以長(zhǎng)景深的方式獲取精確的三維成像。3D成像顯微鏡是一種快速且高分辨率的技術(shù)，用于大范圍的表面拓?fù)錅y(cè)量，能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級(jí)分辨率的重建。

3D顯微鏡系列

具有高表面粗糙度重復(fù)精度、高垂直方向的測(cè)量精度、快速測(cè)量、觀測(cè)細(xì)節(jié)可視化、數(shù)據(jù)化等優(yōu)勢(shì)，同時(shí)能夠支持較大尺寸樣品，非常適用于各個(gè)領(lǐng)域的精密測(cè)量。

神影 Miracle Vision系列提供了非接觸的表面形貌測(cè)量，具有可重復(fù)性，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片、光學(xué)透鏡、金屬表面、汽車涂層、MEMS器件等廣泛精密加工行業(yè)的形貌、粗造度長(zhǎng)度、曲率、深度、體積、顆粒分布等形貌測(cè)量，同樣適用于航天、醫(yī)療、材料、科學(xué)研究領(lǐng)域?？蓹z測(cè)各種粗糙度、各種反射率的器件表面，檢測(cè)器件的表面尺寸從納米、微米到毫米，都可由同一臺(tái)設(shè)備完成，提供主流的國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)下，上百種測(cè)量參數(shù)，將觀測(cè)細(xì)節(jié)可視化、數(shù)據(jù)化，一次完成。

Miracle Vision 3D顯微鏡

• 表面粗糙度重復(fù)精度高達(dá)0.1 nm

• 垂直方向測(cè)量精度可達(dá)1 nm

• 支持樣品尺寸可達(dá)1000 mm及以上

景深融合-清晰的2D成像

由于物鏡的小分辨率和長(zhǎng)焦深不能由單次拍照獲得。為了能夠觀察到長(zhǎng)焦深范圍內(nèi)小尺寸特征和結(jié)構(gòu)，托托科技采用景深融合技術(shù)，一次性觀察不同焦深的高分辨率圖像。

景深延拓-景深延拓3D成像

景深延拓通過(guò)分析不同焦點(diǎn)高度處的對(duì)比度變化，實(shí)現(xiàn)對(duì)物體的三維表面測(cè)量和特征描述，能夠詳細(xì)檢查物體表面，并以長(zhǎng)景深的方式獲取精確的三維成像。

白光干涉形貌儀-納米級(jí)的3D形貌量測(cè)

白光干涉形貌儀是一種快速且高分辨率的技術(shù)，用于大范圍的表面拓?fù)錅y(cè)量，能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級(jí)分辨率的重建。