手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號(hào)：chem17
掃碼關(guān)注視頻號(hào)
蓋米助力液體高效滅菌|熱水級(jí)聯(lián)系統(tǒng)的GEMU閥門應(yīng)用
在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，確保晶圓處理過程中介質(zhì)流量和壓力的精準(zhǔn)控制對(duì)于產(chǎn)品質(zhì)量至關(guān)重要。流量的波動(dòng)，通常由出口的開關(guān)操作引起，可能會(huì)對(duì)晶圓的質(zhì)量造成不利影響。在這一背景下，背壓控制技術(shù)發(fā)揮著至關(guān)重要的作用，它能夠保證在各個(gè)出口獨(dú)立控制的情況下，管線中的流量與壓力依然保持恒定。
以化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）漿料應(yīng)用為例：
這一步驟對(duì)于晶圓的拋光至關(guān)重要。通過精確控制漿料的供應(yīng)量，可以優(yōu)化材料的去除過程。背壓控制確保了流量的穩(wěn)定性，從而保障了CMP過程的均勻性和效率，這對(duì)于提升晶圓加工質(zhì)量和最終產(chǎn)品性能具有決定性意義。
工藝流程圖
解決方案
蓋米推出GEMü C53 iComLine電動(dòng)控制閥，憑借其精確的控制精度和靈活的控制特性，成為實(shí)現(xiàn)背壓控制的理想選擇。
方案優(yōu)勢(shì)
ADVANTAGES
結(jié)合兩款成熟的蓋米產(chǎn)品，提供全面的一體化解決方案；GEMü C53 iComLine控制閥確保了介質(zhì)流量的精確控制。GEMü C33壓力傳感器，提供精確的壓力測(cè)量。
提供多種連接類型，包括擴(kuò)口、入珠、PrimeLock、Nexus Connect®，以滿足多樣化的工藝需求；連接尺寸范圍廣泛，從1/4"到3/4"，適用于不同的設(shè)備和工藝要求。
所有與介質(zhì)接觸的部件均采用PFA或PTFE材料，確保耐腐蝕性和純凈度。
適配產(chǎn)品推薦
（左右滑動(dòng)查看更多）
蓋米以技術(shù)創(chuàng)新和桌越品質(zhì)，助力半導(dǎo)體制造行業(yè)邁向更高標(biāo)準(zhǔn)。我們期待與您攜手，共同提升工藝效率。如需了解更多信息，請(qǐng)聯(lián)系蓋米閥門中國。
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對(duì)其真實(shí)性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí)，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請(qǐng)?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
采購中心