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電子顯微鏡樣品導(dǎo)電薄膜制造裝置-鋨等離子體鍍膜機(jī)
| 用鋨離子鍍膜 機(jī)電鏡觀察 解決您的難題！ 它對(duì)于防止充電、減少顆粒感和熱損傷非常有效。  |
鋨等離子鍍膜機(jī)是一種主要用于SEM樣品的導(dǎo)電薄膜生產(chǎn)裝置，采用“使用直流輝光放電的負(fù)輝光相區(qū)域的等離子成膜方法”。導(dǎo)電鋨薄膜可以使用獲得的直流等離子體CVD方法形成（在負(fù)輝光相區(qū)域內(nèi)成膜）。自動(dòng)操作允許任何人安全地沉積鋨薄膜并具有良好的再現(xiàn)性。 該產(chǎn)品陣容包括鋨薄膜專(zhuān)用型號(hào)和配備使用萘的等離子聚合膜機(jī)構(gòu)的兩用型號(hào)。可選配超薄膜形成機(jī)構(gòu)、親水處理機(jī)構(gòu)、深樣品機(jī)構(gòu)，支持各種應(yīng)用。 此外，除了傳統(tǒng)的開(kāi)關(guān)型外，鋨薄膜型號(hào)的產(chǎn)品陣容中還新增了觸摸屏型。 |  |
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對(duì)于要用掃描電子顯微鏡（SEM）拍照的樣品，必須在樣品表面形成導(dǎo)電薄膜，以防止其因電子束照射而帶電。 傳統(tǒng)上，導(dǎo)電薄膜是使用濺射或金氣相沉積方法形成的。然而，人們擔(dān)心樣品表面的顆粒度以及樣品熱損傷造成的損壞。 因此，Philgen 開(kāi)發(fā)了鋨等離子體鍍膜機(jī)，這是一種可以利用直流等離子體 CVD（負(fù)輝光相區(qū)域成膜）方法形成導(dǎo)電鋨薄膜的設(shè)備。 當(dāng)將少量4氧化鋨（OsO4）氣體/萘氣體（C10H18）引入真空室中并發(fā)生輝光放電時(shí)，瞬間變成等離子體狀態(tài)，分為正輝光相區(qū)和負(fù)輝光相區(qū)。 此時(shí)，電離的分子立即附著并沉積在置于陰極板負(fù)輝相區(qū)域的樣品表面上，形成非晶態(tài)鋨薄膜/等離子體聚合膜（萘）。 鋨薄膜是非晶態(tài)的，因此不會(huì)對(duì)樣品造成熱損傷，并且當(dāng)用SEM對(duì)涂層樣品進(jìn)行拍照時(shí)，可以獲得極其清晰的圖像，沒(méi)有顆粒感。 |
◆關(guān)于鋨薄膜
◆關(guān)于等離子聚合膜（萘制碳?xì)浠衔锬ぃ?br/>
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