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光刻工藝:對(duì)準(zhǔn)與曝光技巧解析

來(lái)源:托托科技(蘇州)有限公司   2025年01月03日 10:22  

光刻工藝:對(duì)準(zhǔn)與曝光技巧解析

01引言

Introduction

在科技的海洋中,光刻工藝猶如一顆璀璨的明星,以其魅力吸引著眾多科技愛(ài)好者的目光。今天,就讓我們一起走進(jìn)托托科技系列推文,輕松掌握光刻工藝中的對(duì)準(zhǔn)與曝光部分,感受科技與藝術(shù)的融合。

02光刻工藝:半導(dǎo)體制造的基石

Photolithography: The Cornerstone of Semiconductor Manufacturing

光刻工藝,作為半導(dǎo)體制造過(guò)程中的核心步驟,對(duì)于芯片的性能和可靠性具有至關(guān)重要的影響。簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō),光刻工藝就是將預(yù)設(shè)的圖形轉(zhuǎn)移到半導(dǎo)體材料上,為后續(xù)加工提供精確的模板。而在這個(gè)過(guò)程中,對(duì)準(zhǔn)與曝光則是至關(guān)重要的兩個(gè)環(huán)節(jié)。

光刻工藝:對(duì)準(zhǔn)與曝光技巧解析

曝光方式分類(lèi):根據(jù)光源類(lèi)型、曝光方式等,可分為多種類(lèi)型。如掩膜對(duì)準(zhǔn)式曝光、步進(jìn)投影式曝光、激光直寫(xiě)、電子束直寫(xiě)等。

掩膜對(duì)準(zhǔn)式曝光:需要掩膜版,1:1關(guān)系,接觸式和接近式;

步進(jìn)投影式曝光:需要掩膜版,有投影系統(tǒng),按一定比例將圖形曝光在光刻膠上;

激光直寫(xiě):利用激光束掃描和DMD技術(shù)來(lái)獲得圖形,無(wú)需掩膜版;

電子束直寫(xiě):電子束光源,曝光過(guò)程采用失量或者柵線掃描獲得圖形,無(wú)需掩膜版,通常分為高斯束和變形束。

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非接觸接近式,無(wú)掩膜曝光系統(tǒng)

托托科技無(wú)掩膜光刻機(jī)經(jīng)由所選圖形產(chǎn)生二進(jìn)制信號(hào),進(jìn)而控制微反射鏡的偏轉(zhuǎn)角度,使得光線的空間分布與待光刻圖形一致。經(jīng)反射鏡投影物鏡到內(nèi),最終照射到光刻膠襯底。無(wú)掩膜版紫外光刻機(jī)與傳統(tǒng)光刻機(jī)相比,節(jié)約了制版的時(shí)間和費(fèi)用,提高了圖形設(shè)計(jì)的自由度,更值得一提的是,托托科技特別為研究二維材料性能的客戶(hù)開(kāi)放了直接繪制電極的功能,即通過(guò)交互式綠光虛擬套刻技術(shù),讓材料電極圖形繪制和對(duì)準(zhǔn)變得更加簡(jiǎn)單和精準(zhǔn)。

在光刻工藝中,對(duì)準(zhǔn)與曝光不僅是技術(shù)的體現(xiàn),更是與科學(xué)的結(jié)合。通過(guò)精確的對(duì)準(zhǔn)和曝光技術(shù),我們可以將預(yù)設(shè)的圖形轉(zhuǎn)移到半導(dǎo)體材料上,為后續(xù)加工提供精確的模板。這種技術(shù)與科學(xué)的結(jié)合,不僅提高了半導(dǎo)體制造的效率和質(zhì)量,還為科研帶來(lái)了無(wú)盡的想象空間和探索樂(lè)趣。


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