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薄膜厚度測量儀的工作原理

來源:濟(jì)南錦華儀器設(shè)備有限公司   2025年02月07日 12:06  

薄膜厚度測量儀主要基于光學(xué)、機(jī)械或電學(xué)原理,來實(shí)現(xiàn)對(duì)各種材料表面薄膜厚度的精準(zhǔn)測量。常見的測量方法包括:

1 光學(xué)測量

光學(xué)測量方法多采用干涉法或反射法。干涉法利用光的波動(dòng)性質(zhì),當(dāng)光波在薄膜的不同界面之間反射時(shí),會(huì)形成干涉條紋,通過分析條紋的變化,可以算出薄膜的厚度。反射法則是基于光的反射特性,當(dāng)光照射到具有不同折射率的薄膜時(shí),會(huì)產(chǎn)生反射,通過測量反射光強(qiáng)度的變化,可以推斷出薄膜的厚度。

2 機(jī)械測量

機(jī)械測量方法通常使用探針直接接觸到薄膜表面,利用探針的位移量來計(jì)算薄膜的厚度。這種方法在很多應(yīng)用中非常精準(zhǔn),但對(duì)薄膜的紋理和結(jié)構(gòu)要求較高,部分情況下可能會(huì)損傷膜層。

3 電學(xué)測量

電學(xué)測量方法則通過電容或電阻的變化來獲取薄膜的厚度。這類技術(shù)主要用于極薄的膜層,如納米級(jí)別的薄膜,能夠提供足夠的靈敏度和準(zhǔn)確性。



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