無線晶圓測溫系統(tǒng)是一種半導(dǎo)體制造設(shè)備，它通過自主研發(fā)的核心技術(shù)將傳感器嵌入晶圓集成，從而實時監(jiān)控和記錄晶圓在制程過程中的溫度變化數(shù)據(jù)。該系統(tǒng)為半導(dǎo)體制造過程提供了一種高效可靠的方式來監(jiān)測和優(yōu)化關(guān)鍵的工藝參數(shù)。

無線晶圓測溫系統(tǒng)的核心優(yōu)勢包括：

一、無線測溫采集

系統(tǒng)采用無線傳輸方式，實現(xiàn)測溫數(shù)據(jù)的無損采集，避免了傳統(tǒng)有線測溫方式中因線路連接問題導(dǎo)致的信號干擾和誤差。

二、實時測溫監(jiān)測

系統(tǒng)能夠?qū)崟r監(jiān)測晶圓表面的溫度變化，提供及時、準確的溫度數(shù)據(jù)，有助于工藝人員及時發(fā)現(xiàn)并處理制程中的異常情況。

三、高精度測量

系統(tǒng)采用高精度溫度傳感器，結(jié)合校準補償技術(shù)，能夠?qū)崿F(xiàn)對晶圓表面溫度的精確測量，滿足半導(dǎo)體制造過程中的高精度要求。

四、測溫數(shù)據(jù)分析能力

系統(tǒng)配備有專業(yè)的溫度分析軟件，能夠?qū)Σ杉降臏囟葦?shù)據(jù)進行存儲、分析和可視化處理，幫助工藝人員深入了解制程中的溫度分布情況，為工藝優(yōu)化提供有力支持。

五、支持過程調(diào)整與驗證

系統(tǒng)支持對半導(dǎo)體制造過程中的溫度參數(shù)進行調(diào)整和驗證，以確保制程的穩(wěn)定性和可控性，提高產(chǎn)品的質(zhì)量和良率。

六、全面熱分布區(qū)監(jiān)測

系統(tǒng)能夠全面監(jiān)測晶圓表面的熱分布區(qū)域，幫助工藝人員了解制程中的熱點和冷點位置，為優(yōu)化工藝參數(shù)提供重要參考。

無線晶圓測溫系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造過程中的多個環(huán)節(jié)，如光刻、刻蝕、化學(xué)氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）、離子注入、清洗、化學(xué)機械拋光以及紫外光固化等。在這些應(yīng)用場景中，無線晶圓測溫系統(tǒng)能夠發(fā)揮重要作用，為半導(dǎo)體制造過程的優(yōu)化和改進提供有力支持。