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DIT空氣動(dòng)力學(xué)噴嘴與自動(dòng)平衡技術(shù)解析

來(lái)源:山金工業(yè)(深圳)有限公司   2025年03月21日 11:18  
<meta charset="UTF-8"/><meta name="viewport" content="width=device-width, initial-scale=1.0"/>長(zhǎng)效免維護(hù)離子棒的秘密:DIT空氣動(dòng)力學(xué)噴嘴與自動(dòng)平衡技術(shù)解析

在半導(dǎo)體、液晶面板、精密電子制造等對(duì)潔凈度要求嚴(yán)格的行業(yè)中,靜電消除是保障生產(chǎn)良率與設(shè)備安全的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。傳統(tǒng)離子棒雖能中和靜電,但普遍存在維護(hù)頻繁、能耗高的問(wèn)題,導(dǎo)致企業(yè)運(yùn)營(yíng)成本增加。針對(duì)這一痛點(diǎn),Dong Il Technology(DIT)通過(guò)技術(shù)創(chuàng)新,開(kāi)發(fā)出具備長(zhǎng)效免維護(hù)特性的離子棒產(chǎn)品。本文將從空氣動(dòng)力學(xué)噴嘴設(shè)計(jì)、自動(dòng)平衡技術(shù)原理、實(shí)際應(yīng)用效果三個(gè)維度,解析其技術(shù)特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)。

一、空氣動(dòng)力學(xué)噴嘴:降低污染與能耗的關(guān)鍵

1. 傳統(tǒng)噴嘴的局限性

傳統(tǒng)離子棒依賴壓縮空氣(CDA)將電離后的正負(fù)離子輸送至目標(biāo)區(qū)域。然而,噴嘴設(shè)計(jì)不合理會(huì)導(dǎo)致氣流在出口處形成湍流,引發(fā)以下問(wèn)題:

  • 污染物堆積(Fuzzy Ball效應(yīng)):湍流使塵埃、纖維等顆粒物吸附在噴嘴端,形成類似“毛球”的污染物,阻礙離子釋放效率。

  • 高能耗:為維持足夠離子密度,通常需要增加噴嘴數(shù)量或提高空氣流量,導(dǎo)致壓縮空氣消耗量過(guò)大。

2. DIT的優(yōu)化設(shè)計(jì)

DIT通過(guò)空氣動(dòng)力學(xué)仿真與實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證,重新設(shè)計(jì)噴嘴內(nèi)部結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)兩大改進(jìn):

  • 層流導(dǎo)向技術(shù):采用漸縮式流道和導(dǎo)流鰭片,將湍流轉(zhuǎn)化為層流,減少氣流與噴嘴壁面的摩擦(圖1)。這一設(shè)計(jì)顯著降低了污染物附著風(fēng)險(xiǎn)。

  • 低流量高效電離:每個(gè)噴嘴的壓縮空氣消耗量從行業(yè)平均的2.56 L/min降至2 L/min(0.1 MPa壓力下),在相同覆蓋范圍內(nèi)減少噴嘴數(shù)量。例如,3000 mm離子棒僅需59個(gè)噴嘴,而競(jìng)品需要56個(gè),總空氣消耗量卻降低17.7%。


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廠商噴嘴數(shù)量空氣消耗量(L/min)
S公司(競(jìng)品)56143.36
DIT(ASG系列)59118

二、自動(dòng)平衡技術(shù):穩(wěn)定性的核心保障

1. 離子失衡的挑戰(zhàn)

離子棒需持續(xù)輸出均衡的正負(fù)離子以中和靜電。然而,電極污染、環(huán)境溫濕度變化或電壓波動(dòng)可能導(dǎo)致離子偏置(Ion Bias)。例如,正離子過(guò)量會(huì)使目標(biāo)物體帶負(fù)電,降低靜電消除效率,甚至引發(fā)二次放電,損壞敏感元器件。

2. DIT的閉環(huán)反饋系統(tǒng)

DIT在離子棒中集成自動(dòng)平衡電路,通過(guò)三步實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)調(diào)整:

  1. 實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè):高精度傳感器每秒檢測(cè)目標(biāo)區(qū)域的殘余電壓;

  2. 算法調(diào)控:根據(jù)電壓極性調(diào)整高壓電源(HVPS)的輸出頻率(0.5~60 Hz可調(diào)),平衡正負(fù)離子比例;

  3. 自清潔功能:當(dāng)電極污染導(dǎo)致性能下降時(shí),觸發(fā)高壓脈沖放電,清除附著物。

3. 長(zhǎng)期性能驗(yàn)證

在DIT潔凈室(Class 100)的測(cè)試中,ASG-A系列離子棒連續(xù)運(yùn)行5個(gè)月未清潔,性能仍符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)(表2):

  • 離子平衡:±30 V以內(nèi)(標(biāo)準(zhǔn)要求±50 V);

  • 衰減時(shí)間:≤2.8秒(標(biāo)準(zhǔn)要求<3秒)。

表2:ASG-A系列長(zhǎng)期性能測(cè)試數(shù)據(jù)
時(shí)間(月)離子平衡(±V)衰減時(shí)間(秒)噴嘴污染指數(shù)
0±10≤1.50%
3±25≤2.015%
5±30≤2.828%

三、實(shí)際應(yīng)用案例與經(jīng)濟(jì)效益

1. 半導(dǎo)體封裝場(chǎng)景——三星半導(dǎo)體

在三星某12英寸晶圓封裝車間,DIT ASG-P系列離子棒被部署在鍵合機(jī)上方(安裝距離300 mm)。相比原競(jìng)品,DIT產(chǎn)品帶來(lái)以下改進(jìn):

  • 維護(hù)周期延長(zhǎng):從每月1次延長(zhǎng)至每6個(gè)月1次,年停機(jī)時(shí)間減少80小時(shí);

  • 能耗降低:壓縮空氣消耗量減少40%,年節(jié)約成本超1.2萬(wàn)美元。

2. 液晶面板制造——LG Display

LG Display在OLED蒸鍍工序中采用DIT AMF-AE系列脈沖型離子棒(安裝距離1.5 m)。其寬覆蓋范圍與穩(wěn)定離子平衡使面板表面靜電電位從±200 V降至±15 V,缺陷率降低0.3%,顯著提升產(chǎn)品良率。

四、技術(shù)發(fā)展方向:智能化與定制化

DIT正進(jìn)一步優(yōu)化離子棒技術(shù),以適應(yīng)多樣化工業(yè)需求:

  • 遠(yuǎn)程監(jiān)控(RMS):通過(guò)RS-485或Zigbee通信,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)多臺(tái)設(shè)備狀態(tài),支持集中管理;

  • 環(huán)境自適應(yīng):根據(jù)溫濕度、顆粒物濃度自動(dòng)調(diào)整工作模式;

  • 模塊化設(shè)計(jì):噴嘴與電路板支持快速更換,降低維護(hù)復(fù)雜度與成本。

DIT離子棒的長(zhǎng)效免維護(hù)特性,源于空氣動(dòng)力學(xué)噴嘴與自動(dòng)平衡技術(shù)的協(xié)同創(chuàng)新。通過(guò)減少污染物附著、動(dòng)態(tài)調(diào)整離子輸出,其在降低能耗的同時(shí),顯著提升了設(shè)備穩(wěn)定性。對(duì)于依賴高精度制造的企業(yè)而言,這不僅意味著成本的節(jié)約,更是生產(chǎn)可靠性的重要保障。未來(lái),隨著智能化技術(shù)的融入,DIT或?qū)殪o電消除領(lǐng)域樹(shù)立新的先驅(qū)。

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