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原裝供應(yīng) KOFLOC 科賦樂(lè) 質(zhì)量流量計(jì)8900系列
支持15～24VDC寬頻電源
模擬輸出/輸入0-5VDC/4-20mA可選
| 傳感器 | 熱式繞組傳感器 | |
|---|---|---|
| 閥門(mén) | 電磁比例閥（斷電時(shí) 關(guān)閉） | |
| 對(duì)象氣體 | N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 | |
| 流量范圍（N2換算） | 10SCCM～20SLM | |
| 控制范圍 | 2～100%F.S. | |
| 響應(yīng)性 | 2sec以?xún)?nèi)（within±2%F.S.） | |
| 精度 | ±1%F.S.（25℃） | |
| 溫度系數(shù) | ±0.1%F.S./℃（15～35℃） | |
| 重現(xiàn)性 | ±0.5%F.S. | |
| 動(dòng)作壓差 | F.S.≦5SLM 50～300kPa、F.S.＞5SLM 100～300kPa | |
| 入口最大圧?耐圧 | 500kPa(G) | |
| 耐圧 | 1MPa(G) | |
| He泄漏率 | 1×10-8Pa?m3/sec以下 | |
| 允許環(huán)境溫度 | 5～45℃ | |
| 允許保存溫度 | -10～60℃ | |
| 允許周?chē)鷿穸?/th> | 10～90%RH（未出現(xiàn)冷凝） | |
| 與氣體接觸的材質(zhì) | SUS316L,SUS316,磁性不銹鋼,FKM(可選:NBR,CR) | |
| 電気接続 | D-sub9九針 KFC standard（依據(jù)SEMI standard） | |
| 模擬流量設(shè)定信號(hào) | 0～5VDC（輸入Z,1MΩ以上）or 4～20mA（輸入Z,250Ω） | |
| 模擬流量輸出信號(hào) | 0～5VDC（負(fù)載電阻250kΩ以上）or 4～20mA（負(fù)載電阻300Ω以下） | |
| 電源 | +15VDC（±5%）100mA、-15VDC（±5%）250mA or 24VDC（±10%）450mA | |
| 外部尺寸 | 寬32mm × 高100mm(包含連接部）× 平面76mm(不包含接頭) | |
| 接頭（本體口徑） | 標(biāo)準(zhǔn)：1/4SWL、可選：1/8SWL、1/4VCR、Rc1/4（9/16-18UNF） | |
| 重量 | 約1,000g | |
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