半導(dǎo)體設(shè)備chiller即半導(dǎo)體冷卻器，是一種用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中對(duì)設(shè)備或工藝進(jìn)行冷卻的裝置，其工作原理是利用制冷循環(huán)和熱交換原理，通過(guò)控制循環(huán)液的溫度、流量和壓力，帶走半導(dǎo)體工藝設(shè)備產(chǎn)生的熱量，從而實(shí)現(xiàn)精確的溫度控制，確保半導(dǎo)體制造過(guò)程的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量。

     半導(dǎo)體設(shè)備chiller主要有兩種類型，其原理和結(jié)構(gòu)分別如下：
熱電制冷式chiller
     • 原理：基于熱電效應(yīng)，當(dāng)電流通過(guò)兩種不同半導(dǎo)體材料組成的電偶時(shí)，電子從一端移動(dòng)到另一端，會(huì)在一端吸收熱量，在另一端放出熱量，從而實(shí)現(xiàn)制冷。通過(guò)改變電流方向，還可切換制冷制熱功能.
     • 結(jié)構(gòu)：主要由散熱器、p型半導(dǎo)體材料、n型半導(dǎo)體材料、熱端冷端電極、直流電源和控制電路等組成。其中，散熱器用于散熱；p型和n型半導(dǎo)體材料交錯(cuò)排列形成p-n結(jié)產(chǎn)生制冷效應(yīng)；熱端冷端電極用于電能輸入輸出和傳導(dǎo)制冷效果；直流電源提供電能；控制電路監(jiān)測(cè)和調(diào)節(jié)工作狀態(tài).
壓縮機(jī)制冷式chiller
     • 原理：壓縮機(jī)吸入蒸發(fā)器出來(lái)的低壓工質(zhì)蒸汽，將其壓縮成高溫高壓氣體送入冷凝器，在冷凝器中冷卻成高壓液體，經(jīng)節(jié)流閥節(jié)流成低壓液體后送入蒸發(fā)器，在蒸發(fā)器中吸熱蒸發(fā)成低壓蒸汽，完成制冷循環(huán)。通過(guò)控制制冷劑的流向和狀態(tài)變化，實(shí)現(xiàn)熱量的轉(zhuǎn)移和溫度控制.
     • 結(jié)構(gòu)：主要由蒸發(fā)器、冷凝器、壓縮機(jī)和節(jié)流閥四大部件構(gòu)成。蒸發(fā)器是輸送冷量、吸收被冷卻物體熱量的設(shè)備；壓縮機(jī)負(fù)責(zé)吸入、壓縮和輸送制冷劑蒸汽；冷凝器放出熱量，將蒸發(fā)器吸收的熱量和壓縮機(jī)功轉(zhuǎn)化的熱量傳遞給冷卻介質(zhì)帶走；節(jié)流閥對(duì)制冷劑節(jié)流降壓，控制流入蒸發(fā)器的制冷劑液體數(shù)量，并劃分系統(tǒng)的高壓側(cè)和低壓側(cè).
     此外，半導(dǎo)體設(shè)備chiller還會(huì)有循環(huán)泵，用于驅(qū)動(dòng)冷卻液或制冷劑在系統(tǒng)中循環(huán)流動(dòng)，確保熱量能夠有效地傳遞和交換；以及控制系統(tǒng)，根據(jù)溫度傳感器的反饋信號(hào)，精確控制制冷系統(tǒng)的運(yùn)行狀態(tài)、制冷量輸出等，以保持設(shè)定的溫度穩(wěn)定.

     中冷低溫自主研發(fā)的Chiller ZC209是一臺(tái)對(duì)循環(huán)液進(jìn)行溫度控制并輸出冷熱液的裝置。具有溫度穩(wěn)定性高、溫度范圍廣、故障自診斷、外部通信等豐富功能。采用的制冷及溫度控制技術(shù)，具有廣泛的溫度范圍:-20℃至+90℃，在半導(dǎo)體制作過(guò)程/激光加工機(jī)/分析裝置/LCD制造裝置/金屬模具溫控等行業(yè)用途廣泛。

     Chiller ZC209主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、激光、FPD，如:半導(dǎo)體(蝕刻裝置、CMP、涂布機(jī)·顯影機(jī)、試驗(yàn)機(jī)、清洗機(jī))激光(激光加工機(jī)·激光焊接機(jī)、激光器、光纖激光器用傳送電纜接頭、超聲波檢查裝置、二次電池制造工程)可適用于廣泛的行業(yè)，如制藥、化工、新能源、半導(dǎo)體、實(shí)驗(yàn)室、高校等多種領(lǐng)域。