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原裝現(xiàn)貨Lintec 琳得科MC-3102L-TC高溫質(zhì)量流量控制器
原裝現(xiàn)貨Lintec 琳得科MC-3102L-TC高溫質(zhì)量流量控制器
原裝現(xiàn)貨Lintec 琳得科MC-3102L-TC高溫質(zhì)量流量控制器
高溫質(zhì)量流量控制器，可用于流量控制為 120°C、斷電時最高 150°C 的環(huán)境。 通過將高溫氣體接觸部分與熱敏基板部分分離，可以控制高溫下的氣體。 塊體采用 SUS-316L，密封材料采用 Au 處理腐蝕性氣體。 此外，還可以選擇防止液化氣體再液化的低壓差規(guī)格和加熱氣體部件的 MFC 專用加熱塊。 工作溫度：最高 120°C 金屬密封件 清潔（保證顆粒） RS-485 通信 選擇 與液化氣兼容 加熱塊 使用示例 液化氣、升華氣體流量控制 CVD 和 ALD 源氣體不一定是室溫和壓力下的氣體。 液體或固體原料通常在室溫和壓力下使用。 液體和固體在室溫下產(chǎn)生的氣體較少，并且使用壓差流動氣體的 MFC 難以控制流速。 因此，原料罐被加熱并增加蒸汽壓以產(chǎn)生壓差，以確保 MFC 的工作壓力。 MC-3000L-TC 能夠進(jìn)行高溫控制和低壓差工作壓力，是液化和升華氣體流量控制的理想選擇。
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