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德國馬爾薄膜測厚儀的結(jié)構(gòu)組成和優(yōu)點(diǎn)
德國馬爾薄膜測厚儀一般是由兩個激光位移傳感器上下對射的方式組成的，上下的兩個傳感器分別測量被測體上表面的位置和下表面的位置，通過計(jì)算得到被測體的厚度。德國馬爾薄膜測厚儀的優(yōu)點(diǎn)在于它采用的是非接觸的測量，相對接觸式測厚儀更精準(zhǔn)，不會因?yàn)槟p而損失精度。相對超聲波測厚儀精度更高。相對X射線測厚儀沒有輻射污染。
德國馬爾薄膜測厚儀是基于三角測距原理，使用集成式的三角測距傳感器測量出從安裝支架到物體表面的距離，進(jìn)而根據(jù)支架的固定距離計(jì)算得出物體的厚度。
激光束在被測物體表面上形成一個很小的光斑,成像物鏡將該光斑成像到光敏接收器的光敏面上,產(chǎn)生探測其敏感面上光斑位置的電信號。當(dāng)被測物體移動時,其表面上光斑相對成像物鏡的位置發(fā)生改變,相應(yīng)地其像點(diǎn)在光敏器件上的位置也要發(fā)生變化,進(jìn)而可計(jì)算出被測物體的實(shí)際移動距離。
兩個激光位移傳感器的激光對射，被測體放置在對射區(qū)域內(nèi)，根據(jù)測量被測體上表面和下表面的距離，計(jì)算出被測體的厚度。
德國馬爾薄膜測厚儀的基本組成是激光器、成像物鏡、光電位敏接收器、信號處理機(jī)測量結(jié)果顯示系統(tǒng)。激光束在被測物體表面上形成一個亮的光斑，成像物鏡將該光斑成像到光敏接收器的光敏上，產(chǎn)生探測其敏感面上光斑位置的電信號。當(dāng)被測物體移動時，其表面上光斑相對成像物鏡的位置發(fā)生改變，相應(yīng)地成像點(diǎn)在光敏器件上的位置也要發(fā)生變化，兩者之間的關(guān)系：
測厚計(jì)算公式
式中：
X、X`——分別是被測物位移和光敏器件上像斑的位移；
L、L`、α——是系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)參數(shù),是根據(jù)具體使用要求而選定的。
由此可見精確地測量X`就可以得到被測物體的位移量，這就是三角法測量位移的原理。
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