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原子力顯微鏡（AFM）拼接縫合技術(shù)（Stitching）分析大尺寸表面
Nanite原子力顯微鏡測量模式: 接觸式原子力顯微鏡，真正非接觸式原子力顯微鏡，橫向力/摩擦力顯微鏡（LFM），導電原子力顯微鏡，磁力顯微鏡（MFM），開爾文探針（Kelvin Probe），掃描熱原子力顯微鏡（SThM），電容和靜電力顯微鏡（EFM），的納米光刻和納米操作能力，音叉原子力顯微鏡，三維掃描成像。
摘要
本篇應用文章介紹了Nanosurf Nanite AFM腳本文件界面與Nanosurf報告專家分析軟件結(jié)合的全自動拼接縫合技術(shù)特點。LCD面板上的AFM測量作為一個例子，演示如何拼接能夠簡單的得到大尺寸表面區(qū)域的高分辨率形貌圖像。
介紹
高分辨率成像技術(shù)例如AFM常常會受制于他們的zui大掃描范圍。當同時需要AFM高的側(cè)向分辨率和一個大掃描范圍時，圖像拼接技術(shù)是一個解決方案。圖像拼接常用于從批量制作的圖片中生成一個單一的全景圖像。在更*的操作中，這項技術(shù)也能被用于結(jié)合批量AFM測量生成單一大圖像。因此，大尺寸表面區(qū)域的AFM圖像，例如1 mm × 1 mm或100 μm × 100μm大小，能被簡單的得到。
Nanosurf Nanite AFM系統(tǒng)能全自動的測量和拼接所需要的圖像。用戶僅需要單個AFM圖像大小和被測量區(qū)域的大小。然后AFM會執(zhí)行好剩余的操作。測量完成后，圖像被加載到Nanosurf Report Expert后處理軟件中，然后一起被拼接成一個單一圖像。這個圖像仍然包含所有的精密測量數(shù)據(jù)，因此能像其他AFM圖像一樣具有所有的分析功能，包括高度和距離測量，粗糙度計算，顆粒和粒徑分析，橫截面分析，和3維成像功能。
圖1：LCD面板的光學顯微鏡圖像。范圍：660 μm × 660μm，使用Nanosurf easyScope 120倍放大得到。大的紅色框圍著的是一單個LCD像素。小的白色框?qū)氖?/span>AFM掃描范圍能覆蓋的區(qū)域。掃描結(jié)果見圖2
圖2：LCD面板典型的AFM掃描區(qū)域，在有限的掃描區(qū)域得到高分辨率的形貌數(shù)據(jù)。掃描范圍74μm × 74μm，如圖1中白色框所示。
圖3：Nanosurf控制軟件中運行的拼接腳本程序。紅框顯示了拼接對話框要求用戶提供基本參數(shù)用于拼接處理。
圖4：Nanosurf Report Expert軟件中的拼接模塊界面。簡單但功能強大的命令允許任何人運行拼接程序，并得到專業(yè)的結(jié)果。
圖5：一幅拼接好的AFM三維圖像。這幅圖（對應圖4得到的拼接結(jié)果），200倍放大倍數(shù)，演示了使用Nanosurf Nanite B AFM和自動移動平臺如何輕松獲得高分辨率的三維數(shù)據(jù)。也演示了拼接結(jié)果是多么的嚴絲合縫。
圖6：一個LCD面板的AFM拼接圖像。這幅圖（560μm × 570μm；160倍放大倍率）是10 × 10幅圖像的結(jié)果，此結(jié)果是使用Nanosurf Nanite B AFM掃描記錄和拼接，并運用了Nanosurf 控制和報告軟件的拼接功能。此結(jié)構(gòu)在尺寸上與圖1所示光學圖片相近，但提供了更多的細節(jié)和三維數(shù)據(jù)。
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