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使用便攜式原子力顯微鏡實(shí)現(xiàn)太陽能電池工業(yè)的在線粗糙度測(cè)量
便攜式原子力顯微鏡
摘要：在薄膜太陽能工業(yè)區(qū)域粗糙度參數(shù)總是需要在控制中，因?yàn)樗鼈兣c電池的電效率緊密相關(guān)。在這項(xiàng)工作中，我們?cè)谔柲芄I(yè)典型的制造車間中測(cè)量和評(píng)價(jià)粗糙度參數(shù)。測(cè)量使用的是Nanosurf easyScan 2 便攜式原子力顯微鏡，這臺(tái)儀器放置在CNC金剛石切割設(shè)備上，設(shè)備上有一被切成四塊的透明導(dǎo)電氧化物薄膜的初始樣品。通過在這個(gè)過程中得到的結(jié)果與在實(shí)驗(yàn)室*條件下得到的結(jié)果比較，證明了車間在線測(cè)量的方法是可行的。區(qū)域粗糙度參數(shù)和傅里葉光譜分析的數(shù)據(jù)具有一致性，表明使用這種類型的測(cè)量工具進(jìn)行在線質(zhì)量控制是可行的。這個(gè)實(shí)驗(yàn)測(cè)量評(píng)價(jià)過程對(duì)樣品的TCO是無任何破壞的；這樣100%的產(chǎn)品能被測(cè)試，因此改進(jìn)了測(cè)量時(shí)間和成品率。
關(guān)鍵詞：表面精密測(cè)量法；原子力顯微鏡；太陽能電池；透明導(dǎo)電氧化物膜；區(qū)域粗糙度
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