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集團的核心業(yè)務是光刻解決方案和晶圓片鍵合。光刻部門主要負責生產高精度光刻設備，其重點業(yè)務是光刻機、旋涂機和噴膠機。鍵合部門專注于生產大規(guī)模封裝市場用鍵合機，同時也提供手動設備。光掩模設備部門提供一系列用于光掩模和壓印掩模工藝的設備及解決方案。 此外還提供一些專用配件，如納米壓印光刻組件、光學透鏡等。