中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)科學(xué)儀器股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱 “公司”)創(chuàng)建于1958年,公司總部位于遼寧省沈陽(yáng)市渾南區(qū),占地面積110畝,建筑面積3.5萬(wàn)平方米。多年來(lái),公司專注于高真空、超高真空、超潔凈真空技術(shù)的研究和發(fā)展,是我國(guó)集成電路裝備和真空儀器設(shè)備的研制、生產(chǎn)基地,先后組建“國(guó)家分子束外延技術(shù)開發(fā)實(shí)驗(yàn)基地”、“國(guó)家真空儀器裝置工程技術(shù)研究中心”和“真空技術(shù)裝備國(guó)家工程研究中心” 等科研平臺(tái)。
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