德國ERS公司是 擁有強生產(chǎn)能力的開發(fā)公司,可實現(xiàn)真正的高產(chǎn)量交付性能目標(biāo)。ERS的核心技術(shù)是為可靠的產(chǎn)品提供的晶圓溫度測試技術(shù),這種技術(shù)不僅能滿足客戶需求,而且提供基準(zhǔn)開發(fā)。德國ERS公司于1970年生產(chǎn)出 個用于晶圓測試的溫度卡盤,并從此引 業(yè)界。在80年代末,隨著ERS的SuperCool?問世,自動晶圓探針臺的真正生產(chǎn)中的冷測試成為可能。到90年代早期,ERS轉(zhuǎn)向了純空氣冷卻系統(tǒng),改變了人們對其可靠性的期望
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