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HMI（Hermes Microvision）是一家專注于電子束檢測(cè)工具的公司，主要為半導(dǎo)體制造廠提供服務(wù)。該公司在2016年被荷蘭光刻設(shè)備制造商ASML收購(gòu)，交易金額約為27.5億美元。此次收購(gòu)使ASML進(jìn)入了新的市場(chǎng)領(lǐng)域，包括晶圓檢查和掩模檢測(cè)。HMI成立于美國(guó)硅谷，由陳仲瑋博士創(chuàng)立，專注于研發(fā)和生產(chǎn)全自動(dòng)、超高速低能掃描電子顯微鏡系統(tǒng)，用于檢測(cè)世jie先進(jìn)半導(dǎo)體晶圓。其產(chǎn)品線包括eScan系列、ePTM系列和eXplore系列，適用于各種研發(fā)和生產(chǎn)應(yīng)用。例如，HERMES MICROVISION/HMI eScan 405是一款具有多種功能的高速、準(zhǔn)確可靠的自動(dòng)掩模和晶片檢測(cè)設(shè)備。此外，HMI還推出了e-beam pattern fidelity metrology系統(tǒng)（ePfm5），這是其與ASML合作的結(jié)果，并于2017年開始發(fā)貨。這種系統(tǒng)的推出進(jìn)一步增強(qiáng)了ASML在整體光刻產(chǎn)品組合中的競(jìng)爭(zhēng)力?？傮w而言，HMI作為一家領(lǐng)xian的電子束檢測(cè)工具供應(yīng)商，在被ASML收購(gòu)后，繼續(xù)發(fā)揮其在半導(dǎo)體行業(yè)中的重要作用，并通過與ASML的合作進(jìn)一步擴(kuò)展其技術(shù)和服務(wù)范圍。