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ASTRO96全自動(dòng)微波等離子清洗系統(tǒng)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱(chēng) 那諾中國(guó)有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 德國(guó)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/4/28 9:56:54
- 訪問(wèn)次數(shù) 1873
產(chǎn)品標(biāo)簽
全自動(dòng)進(jìn)口微波去膠機(jī)自動(dòng)微波等離子去膠機(jī)全自動(dòng)干法清洗機(jī)生產(chǎn)用等離子清洗機(jī)量產(chǎn)型等離子灰化機(jī)
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ALD，PECVD，RIE，磁控濺射，熱蒸鍍，電子束，離子束，晶圓清洗機(jī)，PA-MOCVD，飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀（TOF-SIMS）
| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,制藥/生物制藥 |
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微波等離子清洗
ASTRO96全自動(dòng)微波等離子清洗系統(tǒng)概述：Astro96全自動(dòng)微波等離子清洗系統(tǒng)：Alpha等離子系統(tǒng)Astro96是一款低壓微波等離子系統(tǒng)，用于鍵合、模塑、焊錫球黏合前的*進(jìn)芯片封裝清洗，以及倒裝芯片清洗。Astro96是全自動(dòng)等離子系統(tǒng)，待處理的基片通過(guò)magzine Buffer載入，清洗完成后放回同一個(gè)Magzine Buffer。
ASTRO96全自動(dòng)微波等離子清洗系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)：
- 腔體:鋁
- 容積:16.6公升
- 尺寸:寬度330毫米×深度420毫米x120毫米
- 腔室門(mén):腔體下開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu)
- 微波源：2.45GHz，可調(diào)50-600W
- 氣體進(jìn)氣:3路數(shù)字顯示的質(zhì)量流量器控制，氣體分布系統(tǒng)位于工藝腔體內(nèi)部
- 觀察視窗：52.5mm玻璃，防紫外和RF
- 真空計(jì): Pirani,1-1000Pa
- 真空系統(tǒng)：DN 40 ISO-KF
- 真空閥：電動(dòng)氣動(dòng)閥
- 設(shè)備尺寸：1635毫米x1405毫米x2265毫米
片匣導(dǎo)軌傳送系統(tǒng)：
- 全自動(dòng)，無(wú)堵賽設(shè)計(jì)，集成到等離子主系統(tǒng)
- 片匣通過(guò)2層傳送帶上下載片，提前上載或下載片
- 通過(guò)使用可更換的輸送板，搬運(yùn)系統(tǒng)可以支持較大范圍的基片尺寸、框架、舟等
- 片匣尺寸：z大124mm寬，60-200mm高，110-320mm長(zhǎng)，配套片匣傳感器來(lái)識(shí)別
- 框架進(jìn)/出：框架在同一個(gè)片匣和同一個(gè)槽實(shí)現(xiàn)進(jìn)/出（標(biāo)準(zhǔn)配置）
- 框架進(jìn)/出：框架在不同的片匣和相同/不同的槽實(shí)現(xiàn)進(jìn)/出（可選）
- 堵塞檢測(cè)系統(tǒng)帶有可調(diào)節(jié)的推/拉力控制，并通過(guò)軟件實(shí)現(xiàn)具體的堵塞水平控制，以避免框架損壞
- 支持手動(dòng)模式，單次工序
- UPH（框架/小時(shí)）：360~900，取決于框架尺寸和等離子工藝
系統(tǒng)控制：
- PC, Windows, RS 232, USB, Ethernet (也適用于遠(yuǎn)程控制)
- 19”觸摸屏、圖形用戶界面
- Windows Office兼容
- 存儲(chǔ)處理數(shù)據(jù)和錯(cuò)誤信息，處理數(shù)據(jù)輸出
- 工藝參數(shù)圖形曲線的 監(jiān)測(cè)
- 自動(dòng)或手動(dòng)操作
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