spin coater勻膠機(jī)
- 公司名稱 科睿設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/8/26 14:16:12
- 訪問次數(shù) 4342
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光刻機(jī),鍍膜機(jī),磁控濺射鍍膜儀,電子束蒸發(fā)鍍膜儀,開爾文探針系統(tǒng)(功函數(shù)測(cè)量),氣溶膠設(shè)備,氣溶膠粒徑譜儀,等離子增強(qiáng)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),原子層沉積系統(tǒng)(ALD),快速退火爐,氣溶膠發(fā)生器,稀釋器,濾料測(cè)試系統(tǒng)
spin coater勻膠機(jī)
勻膠機(jī)有很多種稱謂,英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又稱甩膠機(jī)、勻膠臺(tái)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī),總的來說,他們?cè)矶际且粯拥?,既在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。
勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃及制版等表面涂覆工藝, 可在工礦企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。勻膠機(jī)可以用于制作低于10nm厚度的薄膜,并且在清洗和刻蝕中也被廣泛使用。
由我司提供的勻膠機(jī),在高校、研究所及半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)享有很高的聲譽(yù),相信能滿足您多種不同應(yīng)用要求。
產(chǎn)地:韓國MIDAS公司,
型號(hào):SPIN-1200
勻膠機(jī)通用參數(shù):
旋轉(zhuǎn)襯底最大尺寸:4”、6”、8”、12”、550mm;
按客戶需求提供整體解決方案,可以旋涂最小3mm, 最大1000mm襯底;
從手動(dòng)到全自動(dòng)溶質(zhì)分配的選擇范圍寬大;
無振動(dòng)轉(zhuǎn)速最高8000rpm;
真空吸附,無污染;
臺(tái)式勻膠機(jī),占用空間??;
具備耐化學(xué)性的無縫聚丙烯外罩,并且勻膠機(jī)主機(jī)易清洗;
聚四氟乙烯(PTFE)的勻膠機(jī)可用于強(qiáng)腐蝕性化學(xué)材料;
便于程序操作的全尺寸鍵盤,甚至帶著手套都可以方便使用;
可以準(zhǔn)確重復(fù)運(yùn)行程序的數(shù)字程序控制系統(tǒng);
高度靈活的多重可編程步驟組成復(fù)合程序。
spin coater勻膠機(jī)應(yīng)用范圍:
可用于光刻膠(PR),聚酰亞胺(Polyimide),金屬有機(jī)物(Metallo-organics),攙雜劑(Dopant),硅薄膜(Silica Film),以及大多數(shù)的有機(jī)溶液、水溶液;
全自動(dòng)的勻膠及顯影工藝必需的全自動(dòng)Chip生產(chǎn)設(shè)備: