納米壓印系統(tǒng)-光刻機(jī)
- 公司名稱 科睿設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/8/23 14:51:46
- 訪問(wèn)次數(shù) 2906
聯(lián)系方式:張垚13916855175 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
光刻機(jī),鍍膜機(jī),磁控濺射鍍膜儀,電子束蒸發(fā)鍍膜儀,開(kāi)爾文探針系統(tǒng)(功函數(shù)測(cè)量),氣溶膠設(shè)備,氣溶膠粒徑譜儀,等離子增強(qiáng)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),原子層沉積系統(tǒng)(ALD),快速退火爐,氣溶膠發(fā)生器,稀釋器,濾料測(cè)試系統(tǒng)
納米壓印系統(tǒng)-光刻機(jī)
引入了一個(gè)臺(tái)式、獨(dú)立的NanoImprint平臺(tái)。
這個(gè)平臺(tái)提供了一個(gè)帶有微型定位夾具的機(jī)械平臺(tái),用于安裝納米壓印室、紫外線固化源和校準(zhǔn)顯微鏡。
它既可以作為納米壓印系統(tǒng),也可以作為傳統(tǒng)的掩模校準(zhǔn)器,同時(shí)為整個(gè)壓印過(guò)程提供可編程的自動(dòng)控制。
我們納米壓印系統(tǒng)-光刻機(jī)的優(yōu)勢(shì)
•低于10納米分辨率,99%的產(chǎn)量
•支持硬模具和軟模具
•可變模具和基板尺寸提供的便利性和靈活性
•自動(dòng)釋放工藝可防止分離過(guò)程中的模具/基板損壞,并最大限度地提高每個(gè)印記的產(chǎn)量。
•自動(dòng)釋放工藝可防止分離過(guò)程中的模具/基板損壞,并最大限度地提高每個(gè)印記的產(chǎn)量。
•適用于各種應(yīng)用的多功能流程:
•光學(xué)設(shè)備、顯示器、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、生物醫(yī)學(xué)
•器件、半導(dǎo)體集成電路、化學(xué)合成和先進(jìn)材料
•帶觸摸屏用戶界面的可編程PLC允許通過(guò)定制參數(shù)進(jìn)行過(guò)程控制
•專有的紫外固化納米壓印膠對(duì)硬度或厚度沒(méi)有限制,并且與傳統(tǒng)的光刻工藝兼容。