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化工儀器網>產品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>光刻及涂膠顯影設備>納米壓印設備> 4英寸納米壓印機

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4英寸納米壓印機

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納米壓印

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上海納騰儀器有限公司是從事掃描探針顯微鏡(SPM)銷售的專業(yè)公司。公司作為俄羅斯NT-MDT在中國大陸及港、澳地區(qū)的經銷商(RESELLER),在掃描探針顯微鏡(SPM)領域有多年的實踐經驗,擁有一支成熟的銷售、技術團隊,迄今已累計銷售超過100臺(套)儀器。



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4英寸納米壓印機主要特點:
該納米壓印機利用紫外曝光或者熱壓固化實現壓印圖案在壓印高分子膠層中的復制,并通過各項功能與過程參量的優(yōu)化與篩選,通過遠程PLC控制系統(tǒng)結合觸摸屏單元,實現納米壓印全過程的實時監(jiān)控與全自動化控制。
4英寸納米壓印機技術參數:
溫度范圍從室溫到250攝氏度;
壓力范圍從0到300個PSI(對于4英寸晶元);
紫外曝光系統(tǒng);
真空范圍從1個標準大氣壓到0.1帕;
水冷系統(tǒng);
樣品尺寸直徑zui大4英寸;
PLC遠程控制,帶觸摸屏;
手動裝載樣品和模板;
自帶機器控制軟件;
在軟件控制下可實現自動增加和釋放壓力;
可定制更大樣品尺寸或更大壓力系統(tǒng)的納米壓印機。

 

 



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