澤攸科技干式液氦溫區(qū)探針臺LHe-6H-06

產品介紹

干式液氦溫區(qū)探針臺LHe-6H-06是澤攸科技自主研發(fā)的探針臺系統(tǒng)產品之一，LHe-6H-06專為樣品的非破壞檢測和真空潔凈而設計的，測試靈活，廣泛應用于直流（DC），射頻（RF）,MEMS, 納米電子，超導性，納米電路的光電特性，量子點和量子線，非破壞性測試等。利用住友F-50連續(xù)流型、變溫制冷系統(tǒng)，低溫可達6k，同時配備自動溫度控制器（穩(wěn)定度為0.05 K)，帶有觸控界面和LabView驅動，工作溫度范圍在6 K to 400 K 。另加防輻射窗口可截斷樣品更大的熱輻射，可測量更大的尺寸樣品。

產品優(yōu)勢

1.真空腔體：真空度優(yōu)于6×10-4Pa。降溫后優(yōu)于6×10-5Pa。留有2個用戶法蘭接口（KF40可接入氣體或者額外的電纜）；

2. 探針控制：標配6個探針臂。調節(jié)范圍50mm*50mm*30mm，調節(jié)精度優(yōu)于10um。每個探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜；

3. 顯微鏡模塊：連續(xù)變倍單筒顯微鏡，光學放大倍率：1.4X~9X（使用2X附加物鏡時），視頻放大倍率約700倍?？蛇x2X附加物鏡。分辨率優(yōu)于2um。全高清數字攝像頭，帶同軸照明和環(huán)形照明，帶干式液氦溫區(qū)探針臺LHe-6H-06是澤攸科技自主研發(fā)的探針臺系統(tǒng)產品之一，LHe-6H-06專為樣品的非破壞檢測和真空潔凈而設計的，測試靈活，廣泛應用于直流（DC），射頻（RF）,MEMS, 納米電子，超導性，納米電路的光電特性，量子點和量子線，非破壞性測試等。利用住友F-50連續(xù)流型、變溫制冷系統(tǒng)，低溫可達6k，同時配備自動溫度控制器（穩(wěn)定度為0.05 K)，帶有觸控界面和LabView驅動，工作溫度范圍在6 K to 400 K 。另加防輻射窗口可截斷樣品更大的熱輻射，可測量更大的尺寸樣品。機械調焦和光學調焦；

4. 變溫樣品臺：50mm直徑。變溫范圍：30K~400K。控溫穩(wěn)定性優(yōu)于±0.01K；

5. 可選配接入光纖，可將一根或幾根電學探針替換為光纖；

6. 系統(tǒng)直流漏電低于1pA；

7. 產品含進口分子泵機組、全量程真空規(guī)和智能溫控儀。

產品參數

系統(tǒng)功率：2.5KW

重量：200kg

探針軸行程：110mm

探針臺行程：110mm*50mm*30mm

制冷方式：干式液氦制冷

探針臂數量：6

探針頻率：26GHZ-100GHZ（可選）