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2022
11-252023
03-162022
11-24ThetaMetrisis膜厚儀用于氧化釔 (Y2O3) 涂層厚度測量
接下來為大家介紹ThetaMetrisis膜厚儀在氧化釔(Y2O3)涂層厚度方面的測量應用。ThetaMetrisis膜厚儀可快速準確地繪制大尺寸氧化鋁陶瓷圓盤上的抗等離子涂層Y2O3厚度。1、案例介...2022
11-24FR-Scanner-AIO-Mic-XY200: 微米級精度膜厚儀簡介
FR-Scanner-AIO-Mic-XY200是一款自動薄膜厚度測繪系統(tǒng),光學膜厚儀用于全自動圖案化晶圓上的單層和多層涂層厚度測量。電動X-Y載物臺提供適用尺寸200mmx200mm的行程,可在20...2022
11-212023
03-162022
10-242022
10-192022
10-19ThetaMetrisis 自動化薄膜厚度測繪系統(tǒng)介紹
FR-Scanner-AIO-Mic-XY200:微米級定位精度自動化薄膜厚度測繪系統(tǒng)介紹FR-Scanner-AIO-Mic-XY200是一款自動薄膜厚度測繪系統(tǒng),用于全自動圖案化晶圓上的單層和多層...2022
10-184H-SiC 外延層中堆垛層錯與襯底缺陷的關聯(lián)性研究
1.摘要本研究探討了同質(zhì)外延生長的4H-SiC晶片表面堆垛層錯(SF)的形貌特征和起因。依據(jù)表面缺陷檢測設備KLA-TencorCS920的光致發(fā)光(PL)通道和形貌通道的特點,將SF分為五類。其中I...2022
09-022022
08-132022
08-012022
07-042022
06-062022
04-262022
04-182022
03-282022
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