目錄:孚光精儀（中國(guó)）有限公司>>光學(xué)測(cè)量系列>>光學(xué)薄膜測(cè)量>> FRANG-SR100光學(xué)薄膜測(cè)厚儀
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更新時(shí)間：2024-09-03 15:45:14瀏覽次數(shù)：2002評(píng)價(jià)
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光學(xué)薄膜測(cè)厚儀是采用光譜反射計(jì)SR技術(shù)的反射光譜膜厚儀,測(cè)量薄膜反射光譜,測(cè)量薄膜厚度和測(cè)量薄膜折射率等參數(shù)，非常適合日常已知膜系膜堆測(cè)量。
這款光學(xué)薄膜測(cè)厚儀具有較長(zhǎng)工作距離，工作距離可調(diào)，超大樣品臺(tái)，可選光源等特點(diǎn)。
光學(xué)模板測(cè)厚儀特點(diǎn)
易于安裝
軟件基于Windows系統(tǒng)，方便使用
**光學(xué)設(shè)計(jì)，良*系統(tǒng)表現(xiàn)
陣列光譜探測(cè)器保證快速測(cè)量
測(cè)量薄膜厚度和折射率高達(dá)5層
可測(cè)量反射，透射和吸收光譜
可用于實(shí)時(shí)在線的薄膜厚度和折射率測(cè)量
具有齊全的材料光譜舍數(shù)據(jù)庫(kù)
可升級(jí)到顯微分光光度計(jì)
適合不同襯底和不同薄膜厚度測(cè)量
光學(xué)薄膜測(cè)厚儀規(guī)格參數(shù)
型號(hào) | SR100 | SR300 | SR400 | SR450 | SR500 | SR600 |
探測(cè)器類型 | CCD或CMOS陣列 | CCD或CMOS陣列 | InGaAs陣列 | CCD或CMOS和InGaAs 陣列 | CCD或CMOS和InGaAs 陣列 | InGaAs陣列 |
波長(zhǎng)范圍 (nm) | 190-1100 | 370-1100 | 950-1700 | 370-1700 | 190-1700 | 1000-2500 |
波長(zhǎng)分辨率 | 0.01 -3nm | 0.01 -3nm | 3 to 6nm | 0.01 to 3nm | 0.01 to 3nm | 3 to 6nm |
厚度測(cè)量范圍 | 5nm-50 µm | 20nm-1000µm | 100nm-300µm | 20nm-200µm | 5nm-200µm | 20nm-300µm |
厚度測(cè)量精度 | < 1? (1 sigma from 50 thickness readings for 1500? Thermal SiO2 on Si Wafer) | |||||
厚度精度 | better than 0.5% (comparing with ellipsometry results for Thermal Oxide sample by using the same optical constants) | |||||
反射探頭光譜范圍 | DUV-Vis | Vis-NIR | NIR | VIS-NIR | DUV-Vis-NIR | NIR |
樣品臺(tái) | 黑色陽(yáng)極氧化鋁合金，樣品高度可輕松調(diào)節(jié)，尺寸為200mmx200mm | |||||
工作距離 | ~ 25mm (從樣品表面計(jì)算) | |||||
測(cè)量時(shí)間 | 0.1ms-10s,可設(shè)置定義 | |||||
用戶可設(shè)置定義 | 波長(zhǎng)范圍、波長(zhǎng)點(diǎn)、積分時(shí)間、光譜平均數(shù)、平滑因子 | |||||
接口 | USB | |||||
計(jì)算機(jī)操作系統(tǒng)要求 | Both 32bit and 64 Bit, Win XP, 7, 8, 10 | |||||
計(jì)算機(jī)***低配置 | P3 above with minimum 150 MB space, 2GB RAM; CD-ROM; at least 2 USB ports | |||||
供電要求 | 110– 240 VAC /50-60Hz, 1.5 A | |||||
光源 | Deuterium + Tungsten Halogen | Tungsten Halogen | Tungsten Halogen | Tungsten Halogen | Deuterium + Tungsten Halogen | Tungsten Halogen |
光源強(qiáng)度 | Adjustable | Adjustable | Adjustable | Adjustable | Adjustable | Adjustable |
燈泡壽命 | 4000 hrs. | 10000 hrs. | 10000 hrs. | 10000 hrs. | 4000 hrs. | 10000 hrs. |
光學(xué)薄膜測(cè)厚儀典型應(yīng)用
半導(dǎo)體制造
液晶顯示屏測(cè)量
刑偵
生物膜測(cè)量
礦石地質(zhì)分析
制藥醫(yī)學(xué)分析
光學(xué)鍍膜測(cè)量
功能薄膜MEMS測(cè)量
太陽(yáng)能電池薄膜測(cè)量
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