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Transpwctor XPR3氣體分析系統(tǒng)

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所  在  地杭州市

更新時間:2024-01-24 10:39:51瀏覽次數(shù):3622次

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產(chǎn)地類別 進口 價格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 電子,綜合
Transpwctor XPR3氣體分析系統(tǒng) 低真空RGA,用Transpwctor XPR3進行工藝監(jiān)測可為您提供有關(guān)污染程度、出氣量值、氣體純度和設(shè)備運行的實時數(shù)據(jù)。

Transpwctor XPR3氣體分析系統(tǒng)的特點:

1、新設(shè)計的離子源使污染的產(chǎn)生更小,從而延長使用壽命 和提供更清楚的訊號。

2、新型EM在PVD工藝壓強下工作,提供更快速、清晰的數(shù)據(jù)收集和免除FC至EM的轉(zhuǎn)換,簡化數(shù)據(jù)的解譯過程。

3、新型加長的四極桿場可提高低質(zhì)量范圍的過濾能力,提高質(zhì)譜儀分辨同位素的靈敏度,從而改善氫的監(jiān)測靈敏度。

Transpwctor XPR3氣體分析系統(tǒng)是新一代的高壓強四極場工藝氣體分析儀。它研發(fā)于先前INFICON系統(tǒng)成功的基礎(chǔ)上,在物理相汽沉積(PVD)檢測中具有高靈敏度、準(zhǔn)確度和靈活性。一系列技術(shù)上的突破使輕便型Transpwctor XPR3的工作范圍從20耗乇至超高真空,無需大型負(fù)責(zé)的壓強轉(zhuǎn)換設(shè)備。


TRANSPECTOR XPR3的應(yīng)用:

1、PVD工藝模塊

2、預(yù)清洗模塊

3、Non-cluter PVD設(shè)備

4、Clamped的除氣模塊

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