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應用領域 | 電子,綜合 |
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OLED 應用程序提供*佳測量精度。Cygnus 2薄膜沉積控制器在 INFICON 薄膜沉積控制器可靠成熟的性能基礎上,增添了更多不一般的功能,可幫助您實現(xiàn)OLED 過程的*大價值。Cygnus 2 使用我們 ModeLock 頻率測量系統(tǒng),提供穩(wěn)定、高分辨率的速率和厚度測量,速率分辨率可達每 1/10 秒 0.00433 ?/s。Cygnus 2 具有其他石英晶體控制器無可超越的性能、品質和功能,賦予您的過程卓*的可重復性。
功能
1.INFICON ModeLock 技術確保獲得很高、極穩(wěn)定的速率和厚度測量分辨率,即使在速率*低的情況下
2.Auto Z 技術通過自動測定沉積材料的Z比值,可提高厚度測量的精度
3.一個 Cygnus 2 即可同時、單獨或以任何組合方式控制超多 6 個來源,無需使用兩個或三個控制器
4.彩色 TFT LCD 顯示屏使用戶很容易看到過程的進展狀況
5.10 Hz 測量
6.100ms 樣本速率下頻率范圍為 +/-0.0035 Hz
7.USB 數(shù)據(jù)存儲功能可存儲屏幕截圖、配方存儲和數(shù)據(jù)記錄
8.多個源厚度合計功能
9.測量低密度、低速率材料的平均速率(使用穩(wěn)定源的低速率 OLED 摻雜材料沉積超多30 秒)
10.Cygnus 2薄膜沉積控制器速率顯示分辨率可達0.001?
11.4 米 XIU 選件能夠在大型系統(tǒng)中使用較長的真空傳感器電纜
12.無沉積控制允許持續(xù)控制源,因為基片可以通過沉積室不斷循環(huán)
13.6 個標準 DAC 輸出和另外 6 個可選輸出用于來源控制、速率或厚度監(jiān)控
14.可選以太網通信
15.符合 RoHS 標準
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