雙級閥門

為了在有限的空間條件下實現系統的軟抽真空，我們推薦使用 HPS 的 LoPro 雙級閥門，它將一個低高度的隔離閥和一個小的旁通閥相集成，很大地簡化了系統的安裝并降低了成本。

LoPro雙級閥特別適合在高真空中應用，尤其是應用在需要潔凈環(huán)境的半導體或光學加工工藝中。該閥門具有慢速抽空的特點,減小了湍流，從而防止了沾污的產生和對產品的破壞。本頁列出的該系列閥門有ISO-KF NW 25法蘭、0.225 英寸旁通閥口徑和Viton密封等類型，也可選擇其它配置，請客戶服務部門以獲取更多的信息。需要更大尺寸的閥門,可參閱 NW40 或 NW50 LoPro 軟啟動雙級閥或其他MKS的.

注:訂購時,請在訂貨單的注釋部分寫明所需的氣動電磁閥電壓（ 24 VDC, 24 VDC, 120 VDC, 208 VDC, 220 VDC）零件編號 示例：LPV2-25-AK-225-CLVNH-120

NW 25 雙級閥門