IMM-200 薄膜沉積監(jiān)測儀讓超卓可重復(fù)

通過精 確的速率和厚度監(jiān)控保護和增加您的利潤。

IMM-200是一款采用ModeLock技術(shù)制造的沉積監(jiān)測儀，以zui高的厚度精度，上佳的測量分辨率和zui低的速率噪聲非常大限度地提高再現(xiàn)性和均勻性。內(nèi)置振蕩器，IMM-200可以輕松集成到以太網(wǎng)系統(tǒng)中，硬件和占用空間非常小。這款功能強大且精 確的測量監(jiān)視器一定會為您的過程帶來新的性能水平。

功能

• INFICON 鎖模技術(shù)可提供很長的晶體壽命，并確保即使在非常低的速率下也能實現(xiàn)非常穩(wěn)定、非常高分辨率和厚度測量。

• 通過上佳的QCM厚度測量實現(xiàn)產(chǎn)量很大化

• 單通道速率和厚度監(jiān)測器，無需不必要的附加功能，以很大限度地降低成本

• ±0.0035 Hz，超過 100 ms 樣本

• 用于無縫集成的以太網(wǎng)通信

• 緊湊的尺寸，通過節(jié)省工具空間來非常大限度地降低集成成本

• 專家應(yīng)用支持，能夠討論應(yīng)用需求，并提供比競爭對手更大的支持

• 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

典型應(yīng)用

• 半導(dǎo)體制造

• 有機發(fā)光二極管應(yīng)用

IMM-200 薄膜沉積監(jiān)測儀