Brooks  CTI低溫泵

CTI低溫泵產(chǎn)品是在低溫高真空技術(shù)領(lǐng)域*，CTI*的低溫泵及低溫泵系統(tǒng)設(shè)計帶來了*的表現(xiàn)，可靠性和生產(chǎn)能力，無論從單個低溫泵用于高技術(shù)研究領(lǐng)域，還是到復(fù)雜的低溫泵系統(tǒng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)，數(shù)據(jù)存儲，平板顯示，和光學(xué)器件，CTI為低溫高真空技術(shù)制訂了標(biāo)準(zhǔn)。

CTI-Cryogenics Products/CTI系列產(chǎn)品

On-Board® IS Cryopump Systems

On-Board® Cryopumps

On-Board® Waterpumps

Cryo-Torr® Cryopumps

Cryo-Torr® 20HP High Performance Cryopump

Compressors

Cryodyne Refrigerators

CTI 智能低溫泵產(chǎn)品優(yōu)勢:
1. 專門為離子植入制程所設(shè)計的新一代智能型低溫泵系統(tǒng).
2. 磚利的分布式監(jiān)控系統(tǒng)及個別調(diào)整低溫泵功能,以維持系統(tǒng)真空效能,提供制程所需的一致性
3. 快速再生系統(tǒng)和可同時控制多組低溫泵
4. 節(jié)能設(shè)計,不需消耗太多能源和冷卻水
5. 安裝容易,使用方便。
6. 加強(qiáng)型 GOLDLink 軟件提供遠(yuǎn)程監(jiān)測預(yù)防和預(yù)測性維護(hù)

Brooks  CTI低溫泵