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★基于電離電荷的采樣技術(shù)

HZK系列真空度測試儀采用電離電荷的采樣技術(shù)。我公司專家在磁控放電的研究中發(fā)現(xiàn)：在外激勵電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料一定時(shí)，真空滅弧室內(nèi)的真空度與電離的電荷量有非常準(zhǔn)確的對應(yīng)關(guān)系，而與電離電流的峰值僅有概率上的相關(guān)性。因此，我公司*了基于電離電荷的采樣技術(shù)，顯著提高了真空滅弧室的真空度計(jì)量的準(zhǔn)確性。

★ 漏電電流的處理

對處于分?jǐn)酄顟B(tài)的真空滅弧室兩端加高壓時(shí)，會有數(shù)值不等的幾個微安的漏電電流，此漏電電流即使是同型號的真空滅弧室也有較大的個體差異。尤其是對于裝在整機(jī)上的真空滅弧室，由于其周邊的絕緣支撐件也有漏電，這些漏電的總和有更大的不穩(wěn)定性和不可預(yù)測性，并且在數(shù)值上與10E-4Pa數(shù)量級的真空滅弧室的電離電流相當(dāng)。我們采用兩次起動高壓的方法，扣除了漏電電流，保證了無論是裝于整機(jī)上還是待裝的真空滅弧室的真空計(jì)量精度。

★ 判別*漏氣的真空滅弧室

在HZK-VB型機(jī)中，通過高壓擊穿的方式判別真空滅弧室是否*漏氣。

★ PC機(jī)控制測量、計(jì)算漏率、形成測量數(shù)據(jù)庫

這部分是選配件。通過界面進(jìn)行管型、電流或真空度、所用數(shù)據(jù)庫的整定，由PC機(jī)控制整個測量過程、顯示測量結(jié)果并將數(shù)據(jù)存入整定時(shí)的數(shù)據(jù)庫。同一只真空滅弧室在兩次測量后，可通過界面控制進(jìn)行漏率計(jì)算。

★ 內(nèi)置國內(nèi)外幾乎所有真空滅弧室的測量曲線

真空滅弧室由于其幾何尺寸、材料的不同，當(dāng)內(nèi)部真空度和外加激勵電源一定時(shí)，其放電電荷量是不同的，并且有相當(dāng)?shù)牟町?。為?zhǔn)確測量，對每一種真空滅弧室必須有對應(yīng)的從電離電荷量到真空度推算曲線。我公司的專家通過與國內(nèi)主要真空滅弧室生產(chǎn)廠家的密切合作，取得了幾乎國內(nèi)外所有真空滅弧室的電離電荷和真空度關(guān)系的數(shù)據(jù)，通過數(shù)學(xué)處理，將其特征參數(shù)送入HZK系列產(chǎn)品。因此，HW系列產(chǎn)品內(nèi)置國內(nèi)外幾乎所有真空滅弧室的測量曲線。這是國內(nèi)外同類產(chǎn)品中*的。

★完善的輸入保護(hù)電路

當(dāng)真空滅弧室的真空度非常低時(shí)，測量時(shí)真空滅弧室會被高壓擊穿，瞬間的高壓直接加至信號輸入端的采樣電路上，使其承受十分強(qiáng)的電沖擊。HW的信號輸入端的采樣電路增加了完備的保護(hù)電路，即使儀器由于輸入端的高壓沖擊而發(fā)生暫時(shí)工作不正常時(shí)（重新開機(jī)即可），也不會造成電路部分的損壞。

技術(shù)參數(shù)

●測量范圍：1×10^-5～1×10^-1Pa

●測量誤差：1×10^-4～1×10^-1 Pa中誤差＜10％

●測量分辨率：10^-5Pa

●漏氣的滅弧室在測量中將發(fā)生電擊穿。

●允許環(huán)溫：0℃～55℃

●空氣濕度：<85%RH

●電源：AC220±l0%

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