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中級會(huì)員 | 第4年

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Desk V 鍍膜機(jī)
  • Desk V 鍍膜機(jī)
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更新時(shí)間:2024-04-16 10:33:01

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Desk V 鍍膜機(jī)使用一個(gè)2英寸的陰極進(jìn)行濺射,由一個(gè)最大輸出為100毫安的直流電源驅(qū)動(dòng)。使用傾斜/旋轉(zhuǎn)臺(tái)來實(shí)現(xiàn)好的樣品覆蓋,特別是在粗糙的表面。Desk V還可以在沉積前用蝕刻臺(tái)和快門對樣品進(jìn)行預(yù)清潔。不需要濺射嗎?你可以使用碳棒或碳紗進(jìn)行蒸發(fā)。
Desk V包括一個(gè)堅(jiān)固的機(jī)械泵,可迅速將系統(tǒng)的工作壓力提高到50 mtorr。想要更多的功能?選擇有著鋼制腔室和渦輪分子泵的DeskTSC來濺射

Desk V 鍍膜機(jī)

Desk V沉積的涂層材料選擇廣泛(包括銥),而可調(diào)節(jié)的旋轉(zhuǎn)和傾斜平臺(tái)確保了高度均勻的涂層,具有良好的一致性和覆蓋率,即使是在 表面極不規(guī)則的樣品上。Desk V很容易從金屬濺射轉(zhuǎn)換到碳蒸發(fā)。 DeskV包括一個(gè)易于更換的、落地式的、絕緣的旋轉(zhuǎn)試樣臺(tái)。special的臺(tái)面旋轉(zhuǎn)設(shè)計(jì)可以改變臺(tái)面的傾斜程度,以確保特殊的均勻性、一致 性和覆蓋性。臺(tái)面高度可以從3.5英寸(90毫米)調(diào)整到5英寸(130毫米),讓你精確控制光源與基底的距離。

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Desk V 鍍膜機(jī)

Desk V的即插即用功能為你消除了許多學(xué)習(xí)障礙。 只需按一下6英寸的觸摸屏,就可以管理系統(tǒng)的每一個(gè)點(diǎn)--從泵送到沉積到工藝控制到排氣。Desk V的新型全彩觸摸屏控制提供了直觀 和簡單的操作,包括對功率、壓力、持續(xù)時(shí)間和通風(fēng)的定時(shí)濺射和蝕刻工藝設(shè)置點(diǎn)。 Desk V為繁忙的研究人員和顯微人員設(shè)計(jì)和建造,具有創(chuàng)建、存儲(chǔ)和運(yùn)行多達(dá)10個(gè)涂層配方的新能力,現(xiàn)在的工藝運(yùn)行可以實(shí)現(xiàn)更好 的一致性,更精確的層,以及更統(tǒng)一、可重復(fù)的涂層結(jié)果。在今天的多用戶環(huán)境中,這種先進(jìn)的配方編程和存儲(chǔ)能力也為材料的切換 提供了方便,并能夠存儲(chǔ)各種不同的工藝配方。所有這些都導(dǎo)致了更高的生產(chǎn)率、可重復(fù)性和易用性。


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