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石英/硅/聚合物模板-高分辨率納米壓印模板(Mold for nanoimprint lithography)
  • 石英/硅/聚合物模板-高分辨率納米壓印模板(Mold for nanoimprint lithography)
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貨物所在地:上海上海市

更新時間:2024-10-29 21:00:08

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技術(shù)參數(shù):

Delivery of nanoimprint templates in various materials (Si, SiNx, SiC, quartz,glass).Maximum area of the templates:4 inch with feature size of 100 nm. For smaller area, minimum feature size of 50 nm.

提供各種材料的納米壓印模板(硅,氮化硅,碳化硅,石英玻璃)。模板zui大尺寸:4英寸,特征尺寸為100nm。對于更小的尺寸,zui小的特征尺寸可以達到50nm。
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Delivery of EBL service for various structures with the feature size down to 30nm.Substrates: any conducting or non-conducting wafers.

提供zui低30nm特征尺寸的各種結(jié)構(gòu)的電子束刻蝕服務?;澹喝魏螌щ娀蛘叻菍щ娋?。
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Micro and nanofabrications for all kinds of nanostructures in a Si, III-V, II-VI and polymers.

各種納米結(jié)構(gòu)(硅,III-V族元素,II-VI族元素以及聚合物)的微納米加工。



主要特點:

soft mold for thermal nanoimprint 熱壓印的軟模板 

quartz mold for UV nanoimprint 紫外壓印的石英模板 

silicon mold for thermal nanoimprint 熱壓印的硅模板

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