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當(dāng)前位置：> 供求商機(jī)> ET4000-日本Kosaka輪廓儀（臺階儀）
日本Kosaka輪廓儀（臺階儀）
日本Kosaka株式會(huì)社于1950年成立，專業(yè)生產(chǎn)、開發(fā)和銷售各種精密測試儀器、液壓設(shè)備、自動(dòng)機(jī)械和包裝機(jī)械等產(chǎn)品。公司于1950年推出其*個(gè)產(chǎn)品，SD-1表面粗糙分析儀。從此，在隨后的五十多年，產(chǎn)品不斷完善和更新，Kosaka公司的精密分析儀器始終是行業(yè)里的者。
ET4000臺階儀介紹：
ET4000是Kosaka公司推出的全自動(dòng)接觸式微細(xì)形狀測定儀，具有高精確性、穩(wěn)定性和重復(fù)性，可測量FPD、晶片、磁盤，和與納米材料相關(guān)物件的表面特性、臺階高度和粗糙度等。堅(jiān)固的花崗巖材料鑄成的機(jī)身框架以及支撐部件顯著提高了儀器的重復(fù)精度，并降低了地板噪音對測量的干擾。ET4000為滿足用戶不同應(yīng)用方向的需要提供了多種可選配置，通過選配三維成像附件套裝還可以*地?cái)U(kuò)充儀器的功能。
主要參數(shù)：
| zui大樣品尺寸 | 210x210mm；300x400mm |
| 重復(fù)性 | 1σ0.5nm |
| 測量范圍 | Z：100μm ；X：100nm；Y：150-400mm |
| 分辨率 | Z：0.1nm；X：0.01μm |
| 觸針力 | 0.5μN-500μN |
儀器特點(diǎn)：
l 具有的臺階高度重復(fù)性5Å （1σ）和線性度（垂直線性度：200nm以上為±0.25%；200nm以下為0.5nm）。
l 高分辨率，縱軸zui大分辨率為0.1nm，橫軸為0.01μm，可精確測量納米級至幾百微米級臺階高度。
l 超高直線度： 0.005μm/5mm，可測定微細(xì)表面形狀、段差、平面度、粗度、應(yīng)力分析等。
l 低測定力：采用直動(dòng)力LVDT檢出器，觸針力在0.5μN～500μN范圍可以任意調(diào)節(jié)，可測定軟質(zhì)材料。
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