金屬四探針測試儀   電阻率測定儀 型號：HAD-RTS11

HAD-RTS11型金屬四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計的，用于測試金屬材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。

儀器由主機(jī)、探針測試臺、四探針探頭、計算機(jī)等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由四探針測試儀主機(jī)直接顯示，亦可與計算機(jī)相連接通過四探針軟件測試系統(tǒng)控制四探針測試儀進(jìn)行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機(jī)中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到 Excel 中，讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。

儀器采用了新電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。

本儀器適用于工廠、科研單位、高等院校對金屬材料的電阻性能測試。

 電阻率測定儀技 術(shù) 指 標(biāo) ：

測量范圍

電阻率：10-7～10-2?.cm；

方塊電阻：10-6～10-1 ?/□；

電導(dǎo)率：102～107s/cm；

電阻：10-7～10-2?；

可測晶片直徑

140mmX150mm(配 2A 型測試臺)；

 200mmX200mm(配 2B 型測試臺)；

 400mmX500mm(配 2C 型測試臺)；

恒流源 電流量程分為 0.1A、1A、10A 三檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表

量程及表示形式 000.00～199.99 mV；

分辨力：1µV；

輸入阻抗＞1000M?；

精度：±0.5% ；

顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動顯示；

四探針探頭基本指標(biāo)

間距：1±0.01mm；

針間絕緣電阻：≥1000M?；

機(jī)械游移率：≤0.3％；

探針：碳化鎢或高速鋼 Ф0.5mm；

探針壓力：5～16 牛頓(總力)；

四探針探頭應(yīng)用參數(shù) (見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對誤差

( 按 JJG508-87 進(jìn)行)0.0001Ω、0.001Ω、0.01Ω≤0.5％±１字；

整機(jī)測量最大相對誤差 用標(biāo)準(zhǔn)電阻（0.0001Ω～0.01Ω）測試≤±3％；

整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 ≤8％

軟件功能

軟件可記錄、保存、打印每一點(diǎn)的測試數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計分析測試數(shù)據(jù)最大值、最

小值、平均值、最大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成

直方圖，也可把測試數(shù)據(jù)輸出到 Excel 中，對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可

選擇自動測量功能，根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。

計算機(jī)通訊接口 并口，高速并行采集數(shù)據(jù)，連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要 1.5 秒標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 溫度：23±2℃；相對濕度：≤65％；

無高頻干擾；無強(qiáng)光直射；