8
CRX-6.5K兼顧了無液氦操作的便利性和Lake Shore產(chǎn)品的可靠性，為用戶提供了一種低成本、通用的解決方案。它使用獨立的閉循環(huán)制冷機，開機后可在無人協(xié)助的情況下冷卻至低溫。它的多功能性和經(jīng)濟性使CRX-6.5K成為世界各地許多研究人員的首丶選工具。
I-V、C-V和微波測量在CRX-6.5K上是標準的。雙級閉循環(huán)制冷機允許樣品在冷卻過程中保持在較高溫度，降低了樣品冷凝的可能性，這是測量有機材料的關(guān)鍵要求。
CRX-6.5K可在8 K至350 K的溫度范圍內(nèi)工作，并可選擇擴展20 K至675 K的高溫范圍。該系統(tǒng)可容納直徑高達51 mm（2 in）的完整晶圓片和部分晶圓片。探針、測試電纜、樣品座和選件的廣泛選擇使其能夠滿足多種特定的測量應(yīng)用。
設(shè)備參數(shù)：
| 溫度范圍 | |
| 安裝2個探針臂 | 基礎(chǔ)溫度8 K，控制范圍8.5 K ~ 350 K |
| 安裝4個探針臂 | 基礎(chǔ)溫度9 K，控制范圍9.5 K ~ 350 K |
| 安裝6個探針臂 | 基礎(chǔ)溫度10 K，控制范圍10.5 K ~ 350 K |
| 安裝PS-HTSTAGE選件（與樣品背面偏壓不兼容） | 基礎(chǔ)溫度20 K，控制范圍20 K ~ 675 K |
| 溫度穩(wěn)定性 | |
| 基礎(chǔ)溫度 (無加熱控制) | 未說明 |
| <10 K | ±25 mK |
| 11 K ~ 350 K | ±10 mK |
| 351 K ~ 675 K | ±50 mK |
| 真空 | |
| 室溫 | <5×10-4 Torr |
| 基礎(chǔ)溫度 | <1×10-5 Torr |
| 最高溫度 | <5×10-5 Torr |
| 循環(huán)時間 | |
| 總循環(huán) | 6.25 h |
| 抽真空 | 0.5 h |
| 探針臺冷卻 | 3.5 h |
| 探針臺升溫 | 2.25 h |
| 樣品 | |
| 最大尺寸 | 51 mm(2英寸) |
| 樣品背光接口 | 不可選 |
| 樣品旋轉(zhuǎn) | 不可選 |
| 樣品振動 | ＜2 μm |
| 探針配置 | |
| 最大探針數(shù) | 6 |
| 探針臂溫度計 | 用于監(jiān)視探針臂的溫度 |
| 冷卻探針支架 | ＜20 K(樣品在基礎(chǔ)溫度下) |
| 探針支架 | 連接樣品臺熱沉 |
| 探針臂支架 | 連接防輻射屏熱沉 |
| DC/RF探針 | 電絕緣>100GΩ用于低漏電流測量 |
| 微波探針 | 頻率范圍從DC到67GHz |
| 光纖探針 | 可用于電光測量 |
| 落針范圍 | 所有探針均可在直徑為25.4 毫米（1 英寸）的圓內(nèi)落針 |
