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Lake Shore的CRX-EM-HF是一款無(wú)液氦閉循環(huán)制冷的探針臺(tái)，它增加了一個(gè)±0.6 T水平方向磁場(chǎng)的電磁鐵，所有標(biāo)準(zhǔn)的C-V、I-V、微波和電光探測(cè)，加上面內(nèi)水平場(chǎng)電磁測(cè)量，都可以在CRX-EM-HF多功能探針臺(tái)上進(jìn)行。研究人員可以使用CRX-EM-HF來(lái)測(cè)試磁輸運(yùn)參數(shù)，ST-FMR等。它是Lake Shore眾多探針臺(tái)中可用于矢量相關(guān)磁輸運(yùn)測(cè)量的無(wú)液氦低溫探針臺(tái)。為了最大限度地提高樣品的磁場(chǎng)，CRX-EM-HF的探針配置為30°傾角，用于探測(cè)直徑達(dá)25mm（1英寸）的晶圓片。
CRX-EM-HF使用獨(dú)立的閉循環(huán)制冷機(jī)，開(kāi)機(jī)后可在無(wú)人協(xié)助的情況下冷卻至低溫。360°旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)選項(xiàng)允許測(cè)量角度相關(guān)和各向異性的磁輸運(yùn)特性。
主要特征：
√ 溫度范圍8 K~400 K
√ 水平磁場(chǎng)±0.6 T
√ 最大1英寸（25.4 mm）樣品
√ 無(wú)需系統(tǒng)降溫即可施加磁場(chǎng)
√ 樣品360°旋轉(zhuǎn)磁各向異性測(cè)試
設(shè)備參數(shù)：
| 磁場(chǎng) | |
| 磁體類型 | 電磁鐵 |
| 磁場(chǎng)方向 | 水平方向（平行于樣品面） |
| 磁場(chǎng)控制 | 霍爾探頭安裝在探針臺(tái)內(nèi)用于磁場(chǎng)閉環(huán)控制 |
| 磁場(chǎng)大小 | 最大±6 kOe (±0.6 T) |
| 磁場(chǎng)均勻性 | 0.6% 10 mm直徑；2.6% 25 mm直徑 |
| 探針針尖移動(dòng) | <5μm 整個(gè)磁場(chǎng)范圍內(nèi) |
| 溫度范圍 | |
| 最多安裝4個(gè)探針臂 | 基礎(chǔ)溫度8 K，控制溫度范圍10 K~400 K |
| 溫度穩(wěn)定性 | |
| 基礎(chǔ)溫度 (無(wú)加熱控制) | 未說(shuō)明 |
| <10 K | ±50 mK |
| 10 K ~ 350 K | ±20 mK |
| 351 K ~ 400 K | ±50 mK |
| 真空 | 以TPS-FRG分子泵為標(biāo)準(zhǔn) |
| 抽真空時(shí)間 | 30 min (<1 × 10-3 Torr) |
| 室溫下 | <5 × 10-4 Torr |
| 基礎(chǔ)溫度下 | <1 × 10-5 Torr |
| 最高溫度下 | <5 × 10-4 Torr |
| 循環(huán)時(shí)間 | |
| 總循環(huán) | 4.5 h |
| 抽真空 | 0.5 h |
| 探針臺(tái)冷卻 | 2.25 h |
| 探針臺(tái)升溫 | 1.75 h |
| 樣品 | |
| 最大尺寸 | 51 mm(2英寸) |
| 樣品背光接口 | 不可選 |
| 樣品旋轉(zhuǎn) | 360°樣品旋轉(zhuǎn)選件(PS-360-EMPX) |
| 樣品振動(dòng) | ＜1 μm |
| 探針配置 | |
| 最大探針數(shù) | 4 |
| 探針臂溫度計(jì) | 用于監(jiān)視探針臂的溫度 |
| 冷卻探針支架 | ＜20 K(樣品在基礎(chǔ)溫度下) |
| 探針支架 | 連接樣品臺(tái)熱沉 |
| 探針臂支架 | 連接防輻射屏熱沉 |
| DC/RF探針 | 電絕緣>100GΩ用于低漏電流測(cè)量 |
| 微波探針 | 頻率范圍從DC到67GHz |
| 光纖探針 | 可用于電光測(cè)量 |
| 落針?lè)秶?/span> | 所有探針均可在直徑為 25.4 毫米（1 英寸）的圓內(nèi)落針 |
