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激光直寫技術(shù)的研究與進(jìn)展

閱讀：681 發(fā)布時(shí)間：2023-3-6
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　　激光直寫技術(shù)是一種無(wú)需掩模、適用面廣、性價(jià)比高的微納米加工手段，目前已經(jīng)廣泛應(yīng)用于微機(jī)電系統(tǒng)、掩模板、微流控、微納光學(xué)器件、超材料等微納米制造領(lǐng)域。隨著納米技術(shù)的飛速發(fā)展，器件和結(jié)構(gòu)變得越來(lái)越小，面對(duì)的場(chǎng)景也越來(lái)越復(fù)雜多樣。
　　
　　為了滿足這些新的發(fā)展需求，新一代激光直寫系統(tǒng)采用了激光與物質(zhì)非線性相互作用的新原理，在技術(shù)上實(shí)現(xiàn)了兩個(gè)突破：
　　
　　1、突破了衍射極限的限制，實(shí)現(xiàn)了超衍射加工；
　　
　　2、打破了受體材料僅能使用有機(jī)光刻膠的限制，實(shí)現(xiàn)了在各種材料也包括有機(jī)光刻膠上的激光直寫。
　　
　　這些突破賦予了激光直寫技術(shù)許多新的內(nèi)涵，極大地拓寬了激光直寫的應(yīng)用場(chǎng)景。
　　
　　大量的實(shí)驗(yàn)研究已經(jīng)證明了激光直寫系統(tǒng)的可靠性，同時(shí)證明了此系統(tǒng)可利用多樣化的加工反應(yīng)機(jī)理，如氧化、切削、凝固、熔化、光化學(xué)反應(yīng)、引導(dǎo)自組裝等。
　　
　　事實(shí)上，千萬(wàn)種材料，每一種都可以和新一代激光直寫結(jié)合，寫出自己的故事，加之不同的相互作用原理，為使用激光直寫探索前沿提供了許多新的可能和一個(gè)巨大的舞臺(tái)。
　　
　　工欲善其事，必先利其器，新一代激光加工系統(tǒng)已經(jīng)開始服務(wù)于多個(gè)領(lǐng)域的研究機(jī)構(gòu)并參與到其前沿研究課題中，為研究人員在探索新的微納米效應(yīng)，尋找獨(dú)特的制造技術(shù)、構(gòu)建新型納米器件等領(lǐng)域提供了獨(dú)特、靈活的制造加工技術(shù)手段。

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